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说到光刻机大家难免会想到三个厂商 , 荷兰的ASML公司、尼康和佳能 。 而光刻机就是制造芯片的核心装备 。 现如今光刻机领域的核心地位就是荷兰的ASML , 他与台积电合作 , 共同突破了沉浸式DUV光刻机 , 也正因为此动作 , 才奠定了ASML在光刻机领域的核心地位 。
后续ASML又推出了更加高端的EUV光刻机 , 而且还是独家垄断生产 。 这就进一步使得ASML成为行业的巨头 。 随着科技的不断发展 , 市场就要越来越追求高性能以及高要求 , ASLM造成的长时间垄断 , 导致其他同行没有办法发展 。 在他自身无法突破的前提下 , 他的路是越走越窄 。
在全球范围内 , 能生产出EUV光刻机的厂商只有ASML这一家 , 在其背后一直扶持他的当然少不了美国了 。 美国一直在芯片制造这方面一直是像“称霸”的 , EUV的研发也是由美国企业英特尔成立组织花费了6年的时间才研发出来的 。
虽然光刻机最初的开始是在美国 , 但是美国制造的成本等等所花费实在是太高 , 老美已经负担不起了 。 所以美方的光刻机就逐步退出舞台 。 在美国退出之后 , 有能力参与EUV光刻技术研发的光刻机企业只有尼康和ASML两家 , 他们两家都想加入这个组织 , 为的是以后可以更好的发展拿到一手的技术 , 但是最后只允许了ASML的加入 。
我们细细分析 , 为什么尼康不可以 , 我们知道尼康是日本的一个企业 , 资金也算是雄厚 , 想要完全被老美完全掌控 , 显然不太现实 。 再加上日本的经济实力也十分强大 , 老美也在担心自己的这个技术最终能不能掌握在自己的手中 , 为自己服务 。 所以身为何来的ASML就加入进来 , ASML就独自享用了美方的EUV的技术 , 当然 , 美国之所以让ASML加入进来 , 为的就是他跟美方签订了技术保护条款 , 以及在制造光刻机是55%的配件必须是从美方购买 。 所以美方不管是从科技制成品 , 还是零件都是双赢的 。 这也就是为什么美方可以阻止EUV的出货 。
当然美方光有技术还是不行的 , ASML为制造出EUV光刻机花费了17年的时间 , 总投资额也已经超过了60亿欧元(约合450亿人民币) 。 有了技术有了资金也有了产品这就造就了ASML在光刻机领域的垄断 。 近几年来 , EUV的产量不断扩大 , 自从2018年的22台到去年42台 , 今年将超过50台 。 如此的上升趋势ASML真的可以说是自信满满 , 还将计划到2025年实现出货90台EUV他们一路高歌猛进 , 如今新一代的Hign-NAEUV即将上市 。
从出货量的不断增多 , 再到产品的更新换代 。 ASML尝到了EUV带给他的红利 , 但是ASML的首席技术官透露EUV即将走到尽头 , 之后的技术可能根本实现不了 。
不光是技术上面的问题 , 成本资金问题也在限制着他的发展 , 先不说及即将发售的Hign-NAEUV , 就拿最初的EUV来看 , 一台EUV约1.2亿美元一台 , 制造一个3nm晶圆成本已经到达了2万美金 , 而现如今 , 台积电可以制造出2nm、1nm的晶圆 , 这个就需要EUV进一步的升级 。 而最新款的High-NAEUV的价格更高 , 将近4亿美元 , 所以水涨船高 , 用它制造2nm、1nm晶圆的成本也会更高 , 这样的成本实在是太高 。 随着制程不断缩小 , 能够用得起的客户也越来越少 。 我们都知道当前的芯片材料即将接近物理极限 , 在EUV光刻机在1nm制程之后就很难再会有新的突破 。 所以就有很多能够代替EUV光刻的技术开始不断出现 。
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