在半导体生产中 , 光刻机是核心设备 , 不仅决定了芯片制造的工艺水平 , 也是耗时最多、成本最高的一步 , 目前先进的7nm、5nm及接下来的3nm都需要EUV光刻机 , 一台售价将近10亿人民币 , 目前还是供不应求 。
EUV光刻机目前只有荷兰ASML公司可以生产 , 他们的产能将决定全球先进工艺扩张的速度 , 日前ASML公司高级副总裁Christophe Fouquet在高盛会议上确认 , 将增加EUV光刻机的产能 。
他们原本预计在2025年的时候EUV年产能是70台 , 现在决定提升到每年90台 , 有助于缓解产能不足的问题 。
今年Q2季度还没结束 , ASML公司就收到了超过100台EUV光刻机的订单 , 这已经大大超过了他们的产能 , 今年该公司计划出货EUV光刻机不过55台 , 只能满足一半的订单量 , 客户都要排队等待 。
【芯片|10亿一台供不应求 ASML EUV光刻机产能提升到每年90台】
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