晶圆成本仅为碳化硅10%,四代半导体材料距离商业落地还有多远?|36氪专访( 三 )
日盲紫外波段的光线无法透过大气层 , 会被大气层直接吸收 。 一旦在大气层中探测到这种光线 , 那么它要么来源于闪电 , 要么来源于导弹 , 要么来源于战斗机 , 可以用该材料当作军用光线探测器 。 此外 , 在电站、加油站等场景 , 故障早期出现电晕放电情况时也会发出这种紫外的光 , 如果状况继续恶化的 , 它就开始发热并变成红外的光 , 相当于可以用氧化镓防患于未然 , 不过能用做这种探测的材料还蛮多的 , 比如氮化铝、碳化硅 , 氧化镓在这个应用可能还需要进一步证明它的不可取代性 , 不像功率领域这么简单明了 。
业界对氧化镓的的开发更多还是在功率器件上 , 基本上80%的研究单位都在朝着功率器件的方向发展 。
36氪:氧化镓具备什么材料特性 , 让它具备用于功率器件的潜力?
许照原:市场对于功率更高、损耗更低、成本更低、性能更好的器件的追求是永无止尽的 。
功率半导体最看重的是击穿场强、导通电阻、迁移率、介电常数等参数 , 禁带宽度更宽的材料 , 天然具有更耐高温、耐辐射、耐高压、导通电阻低的特点 。 氧化镓的禁带宽度为4.9eV , 而氮化镓为3.39eV , 碳化硅为3.2eV , 硅为1.1eV;在耐压能力上 , 氧化镓、氮化镓、碳化硅、硅的击穿场分别为8、3.3、2.5、0.3MV/cm;在评估材料特性的巴利加优值BFOM上 , 氧化镓、氮化镓、碳化硅、硅分别为3440、536、344、1 , 数值越大 , 导通特性就越好;不过在散热率上 , 氧化镓的热导率仅0.27w/cm·k , 要低于氮化镓(2.1w/cm·k)、碳化硅(2.7w/cm·k)、硅(1.2w/cm·k) , 现在工业界通过封装已经搞定散热 , 效果很好 , 所以现在基本上行里人也没有人再提热导率的事儿了 。
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氧化镓材料研究走到哪一步?
36氪:目前全球氧化镓材料研究走到了哪个进度?
许照原:这个材料特别难 , 直到现在 , 全球仅日本实现了量产 。 因为这个材料熔点高 , 1800度 , 还需要有氧环境 , 单独实现某一个还好 , 比如高温 , 碳化硅需要2300度高温 , 也能很好实现 , 但是有氧就不好办了 , 整个技术体系都要更换 , 设备要改 , 热场要改 , 保温材料 , 加热材料 , 坩埚材料 , 全都要换 , 重新摸索 。 那研发这个材料就需要很强的设备能力 , 也需要长晶基础 , 熟悉各种长晶工艺 , 再用极大的耐心去实验 。
日本将氧化镓的衬底、外延、器件全都研究了一遍 , 并且已经实现了6英寸衬底和6英寸同质外延 , 这什么意思呢 , 就是不到十年的时间 , 已经追上了碳化硅四十年的进度 , 这就是熔体法带来的好处 。 他们很早就验证出这个材料在功率领域很好用 , 此后更多的人觉得这个材料挺好的 , 开始大规模采购日本的材料 , 一起在器件端探索 , 开发出新的更好规格的器件 。 目前 , 日本有两家氧化镓公司 , 都是从材料做到器件的IDM企业 , 一家公司融资了11轮 , 但未向市场售卖材料和器件;另一家日本公司NCT在全球市场占有率接近100% , 供给了市面上几乎所有的氧化镓材料 , 他们用的是导模法 , 也就是用铱的 , 未来几年很快就要被淘汰掉 , 所以我猜他们肯定也在谋求新技术路线 。 他们的外延是做得最好的 , 领先我国很多 。
在一些特定领域里 , 我们看到的报道是说日本已经与客户完成了初步验证 , 效果很好 , 计划从小规模实验准备转入量产阶段 , 预计在2023年量产 。
现在大家都只知道他们用在工业 , 但是不知道到底在哪个场景用的 , 也没办法去推算特定的规格来进行同步定制的开发 。 只有等到它真正批量应用之后 , 我们才能看到它还有这样的市场 , 再去追随跟进了 。
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