光刻机|EUV光刻机,再见

光刻机|EUV光刻机,再见

文章图片

光刻机|EUV光刻机,再见

文章图片

光刻机|EUV光刻机,再见

文章图片

光刻机|EUV光刻机,再见

台积电能成为全球芯片代工行业的佼佼者 , 不仅是因为掌握了先进的芯片制造技术 , 还因为能够优先获得ASML的EUV光刻机 , 一共生产了142台 , 台积电就买走一半 。
EUV光刻机是生产7nm及以下制程芯片的关键设备 , 三星为实现超越台积电目标 , 想要多获得EUV光刻机 , 总裁亲自赴ASML总裁也不行 , 只能在韩建了EUV翻新厂 。

也因此 , ASML近年来才会迅速成长 , 成为光刻机领域的霸主 , 占据全球80%左右的市场份额 。 近两年的全球缺芯不断演进 , 晶圆厂纷纷扩产 , 更是加大了光刻机需求 。
然而 , 就在这个关键节点 , ASML总裁却突然发声 , 表示EUV不能自由出货不是他们的原因 , 而是因为《瓦尔森协议》 。 为什么在EUV还供不应求的情况下这样表态呢?
对此 , 外媒直接表示:再见 , ASML!为什么这么说呢 , 原因可能是基于以下三点 。

首先 , ASML无法摆脱限制 。 EUV光刻机受限制 , 大家都明白 , 中芯国际在2018年时就订购了一台 , 本应于2019年交货 , 但后来由于美方的多次阻挠 , 至今不能到货 。
原因就是因为ASML的EUV技术 , 来自于当初加入的英特尔牵头成立的EUV技术组织 , 还有光源等技术也来自美方 。 因此 , ASML的EUV光刻机出货就受到美出口限制 。
后来EUV出货规则又修改了 , 不仅限制出货给中企 , 连国外在大陆的晶圆厂也限制 。

【光刻机|EUV光刻机,再见】ASML想要出货就需要申请许可 , 但涉及EUV光刻机根本就不给通过 。 美方为了限制EUV , 还专门修改了出口限制规则 , 将EUV技术直接列入其中 , 严格进行限制出口 。
由此看来 , ASML近期想要获得许可根本不可能 , 除非EUV已经落后两代 , 但这个技术还没有出现 。 所以近两年 , ASML每次表态 , 都是除了EUV , 其他产品可以出货 。
EUV出货基本没什么希望了 , 我们也就不再期待了 , 只有自研突破或寻找其他出路 。

其次 , EUV不再是唯一选择 。 EUV技术是目前生产高端芯片正在使用的重要技术 , 但并不是唯一技术 , 只是因为ASML把这项技术给应用到光刻机 , 直接能够实用了 。
除了EUV , 还有两种技术也可以 。 一个就是日本铠侠的NIL制程技术 , 目前已经可以实现15nm芯片量产 , 预计在2025年就可以实现5nm量产 , 届时将可替代EUV 。
另一个就是俄罗期正在研发的X射线光刻机 , 其能实现波长比EUV技术的更短 。

再者 , 新的芯片道路正兴起 。 原来使用ASML的EUV光刻机来生产高端制程芯片 , 一直是遵循着摩尔定律向微缩方向进行 , 但现在发现越来越困难了 , 成本也过于高了 。
因此 , 各大晶圆厂和芯片设计企业开始寻求新的芯片道路 , 于是先进封装技术开始兴起 。 先进封装并不是现在突然出现 , 而是一直在研发 , 台积电早就在这方面进行了布局 。
这才有了近日的台积电首颗3D封装芯片问世 , 苹果的双芯叠加超强芯片才能出现 。

先进封装技术就是用较低制程的芯片 , 通过先进封装实现高制程芯片的功能 。 其实 , 这方面华为也早就在研发 , 之前就发布过关于芯片叠加方面的专利 , 现在证明可行了 。