光刻机|光刻机巨头ASML,再见了?

光刻机|光刻机巨头ASML,再见了?

文章图片

光刻机|光刻机巨头ASML,再见了?

文章图片

光刻机|光刻机巨头ASML,再见了?

文章图片

光刻机|光刻机巨头ASML,再见了?

文章图片

光刻机|光刻机巨头ASML,再见了?

ASML在光刻机市场一家独大 , 生产的DUV和EUV光刻机垄断中高端光刻机市场份额 。 因为别的企业造不出来 , 所以ASML在这些领域根本不存在竞争对手 。

而其余的中低端光刻机设备 , ASML也在加紧对世界各国客户的出货 。 不过让ASML没有想到的是 , 各国纷纷加紧光刻机自主化 , 或是涉及高端 , 或是另辟蹊径 。
哪些国家有怎样的光刻机发展计划呢?要对ASML说再见了?

各国加速光刻机自主化ASML提供中高端光刻机供货 , 但是有些设备并不是全球化的 。 比如EUV光刻机便不能向大陆客户发货 , 原因大家都知道 , 因为某些规则的存在 , 让ASML只能选择遵从 。
虽然都知道事件的本身不是出自ASML , 可终究还是ASML实施了断供行为 。
但凡是有发展高科技产业 , 打造自主科技的芯片生产线供应链的国家 , 都希望将顶级的光刻机掌握在手里 , 也就是加速自主化步伐 。

而在这方面采取行动的国家包括中国、俄罗斯、日本 。 那么这三个国家都有怎样的光刻机自主化发展计划呢?
首先来看中国 。
中国其实是有丰富的光刻机产业链的 , 大部分的零部件 , 产品背后都有相应的国产供应商参与布局 。 比如双工件台有华卓精科 , 曝光系统也有国望光学 , 以及上海微电子负责整机装备 。
这些国产光刻机产业链的厂商均有不错的实力 , 也正是有他们的存在 , 为国产光刻机持续推动自主化 , 并朝着越发先进的制程迈进 。

虽然产业链相对丰富 , 但也还有很大的进步空间 。 有人总结国产光刻机产业链处在“大而不强”的状态 , 言外之意还得朝着变得更加强大的目标出发 。
关于这一点 , 各方都有对应的发展计划 , 比如国望光学将在2023年投入光学曝光系统的产线 , 为国产光刻机产业链贡献更大的力量 。
其次再看俄罗斯 。
印象中俄罗斯并没有什么半导体行业的顶级实力 , 芯片设计和芯片制造都没有世界闻名的巨头 。 相比亚洲的台积电 , 欧洲的ASML等世界级半导体厂商 , 俄罗斯发展的主要产业似乎并不包括半导体 。

可实际上 , 俄罗斯的基础科学研究以及对电子信息系统等高度把控 , 是可以给发展半导体带来一定优势的 。
其中对光刻机甚至定下了远大的发展目标 , 俄罗斯明确要采用X射线研制生产高端光刻机 , 初期研发投入6.7亿卢布 。
X射线区别于ASML使用的EUV极紫外光 , X射线波长更短 , 分辨率更高 , 如果被俄罗斯研制成功 , 很有可能改变全球光刻机产业局势 。 到时候高端光刻机的形容词不再是EUV光刻机 , 也包括X射线光刻机 。

最后来看日本 。
日本是唯一一个拥有两家芯片制造光刻机企业的国家 , 分别包括佳能和尼康 。 这两家日企都有涉猎光刻机业务 , 而且实力不可小觑 。
ASML没有崛起之前 , 他们才是光刻机行业的真正话事人 。 即便这几十年日本半导体产业显得“家道中落” , 但该有的功课还是没有落下太多 。 在光刻机这方面 , 佳能已经确认研制一台3D半导体技术的封装光刻机 。