光刻机|26亿人民币!ASML公开官宣,新款EUV光刻机2024年出货

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文|笨鸟科技
芯片制程已经到了一个临界点 , 现款EUV光刻机可以支持3nm芯片量产 , 但是更先进的2nm就需要更高端的EUV光刻机设备才行了 。
【光刻机|26亿人民币!ASML公开官宣,新款EUV光刻机2024年出货】对此 , ASML公开官宣 , 新款EUV光刻机会在2024年出货 , 并且每台售价将近26亿人民币 。 如此昂贵的设备 , 有哪些亮点呢?新款设备来了 , 旧款EUV光刻机能自由出货吗?

ASML官宣新款EUV光刻机
摩尔定律引导人类芯片工艺发展了几十年 , 从微米提升到了如今的纳米技术 , 并且达到了4nm , 3nm的顶级水准 。
按照摩尔定律的概念来看 , 集成电路每隔两年可容纳的晶体管数量就会翻倍 , 另一层意思就是芯片性能可以持续提升 。
但硅基材料终究会受到物理规则的限制 , 无法在已有的技术领域将芯片制程无限延伸 , 必须采用更先进的制程技术和半导体设备 , 所以ASML下一代新款EUV光刻机成为了重点 。

ASML的EUV光刻机是全球最顶级的芯片制造设备 , 台积电 , 三星都需要采购EUV光刻机来生产7nm , 5nm等高端芯片 。 但现款的EUV光刻机都是采用0.33数值孔径系统 , 能实现3nm的芯片曝光就已经是极限了 。
想要取得更高的精度提高分辨率 , 就必须升级光刻机系统 。 关于这一点 , ASML已经在准备了 。
ASML正在研发下一代的NAEUV光刻机 , 将数值孔径系统升级到0.55 。 NAEUV光刻机可以支持2nm及以下芯片的生产 , 目前ASML确定有两款型号 , 分别为TWINSCANEXE:5000和TWINSCANEXE:5200 。

另外 , ASML公开官宣 , 新款EUV光刻机会在2024年出货 。 价格方面 , 每台NAEUV光刻机的售价是3亿到3.5亿欧元 , 相当于最贵卖到了26亿人民币 。
这个价格是现款EUV光刻机的两倍左右 , 可即便如此昂贵 , 也还是迎来了台积电、三星、英特尔等芯片制造巨头的纷纷下单 。 不只是用于芯片制造 , 也有部分客户采购NAEUV光刻机用于研究目的 。
总之ASML似乎并不缺NAEUV光刻机订单 , 价格对巨头们来说只是其次 , 有货才是最重要的 。

如此昂贵的设备 , NAEUV光刻机有哪些亮点呢?这类光刻机最大的亮点就是可以在5nm以下实现单次曝光 。
因为芯片的晶体管密度十分精细 , 到了5nm以下即便是EUV光刻机 , 也需要使用双重或多重曝光技术 , 确保芯片图案能完整光刻在晶圆表面 。
但是对于芯片制造商来说 , 追求的依然是单次曝光技术 , 这样可以提高生产效率 , 也能为芯片制程发展提供应用潜力 。 而NAEUV光刻机的数值孔径是0.55 , 分辨率达到了8nm , 可以在5nm , 3nm乃至2nm避免多重曝光带来的良率 , 成本挑战 。

新款设备来了 , 旧款EUV光刻机能自由出货吗?
不出意外 , NAEUV光刻机会是2nm制程时代最主要的致胜王牌 , 台积电、三星、英特尔都会争相抢购 。 值得一提的是 , 这三大巨头都已经下单NAEUV光刻机 , 并且透露会在2024年拿到货品 , 这和ASML的出货时间是一致的 。
为了满足客户的需求 , ASML计划在2027年到2028年期间 , 将NAEUV光刻机产能提升至每年20台 。