极紫外光刻|国产EUV光刻机传来好消息,关键技术被攻克,美媒:怎么会是它?

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芯片 , 对于任何一个想发展科技产业的国家来说 , 其重要性不亚于“核武” , 堪称国之重器 。 但可惜的是 , 在传统硅基芯片领域 , 我国存在着很大的短板 , 芯片制程工艺落后、自给率低 , 非常依赖进口芯片 。 据公开数据显示 , 2021年 , 我国进口芯片数量为5435亿颗 , 价值2.4万亿元人民币 。

芯片制造是一项庞大的项目工程 , 涵盖晶圆制造、设计、光刻等256个细分领域 , 高端芯片的制造 , 需要集结全球半导体产业的力量 , 一个国家若想独自造出高端芯片 , 难度非常之大 , 如同攀登“蜀道” 。

芯片“全球化”并非不可取 , 可是 , 被人不卖给我们了该怎么办?华为 , 曾一度冲上世界第一大智能手机厂商的宝座 , 在高端智能手机领域与苹果平分秋色 , 但由于没有芯片制造能力 , 芯片被卡了脖子后 , 作为5G通信领域的领导者 , 在这个5G时代 , 只能发布4G手机 , 不可谓不讽刺 。
所以 , 我国科技若想实现真正的崛起 , 就必须实现芯片独立 , 否则 , 只能是别人砧板上的“鱼肉” , 任人宰割 。 而若想实现芯片的独立 , 不得不解决EUV光刻机被卡了脖子的这个问题 。

任正非曾在与C9高校校长交流时表示 , 我们不是设计不出来高端芯片 , 而是国内企业EUV光刻机和化学材料被卡了脖子 , 造不出来高端芯片 。
正如任正非所言 , 华为海思的芯片设计能力达到了世界一流水平 , 曾经的麒麟9000芯片更是创造了多个世界第一 , 让高通、苹果等巨头惊恐不已 , 但由于台积电、三星不给华为代工 , 中芯国际等国内芯片代工企业又没有EUV光刻机 , 麒麟9000芯片只能成为“绝唱” 。
几年前 , 我们就知道EUV光刻机被外企垄断的严重后果 , 开始不断加大在EUV光刻机领域的研发投入 , 但中国科研人员却遭到了光刻机巨头ASML公司首席技术官的当面嘲讽:即便是把EUV光刻机图纸给你们 , 你们中国人也造不出来 。

EUV光刻机虽然有着全人类智慧结晶的美称 , 但也不是神造的 , 必然不会成为“中国芯”崛起道路上的绊脚石 , 中国人完全有能力造出属于我们自己的EUV光刻机 。
在过去的两年里 , 国产EUV光刻机不断取得重大突破 , 清华攻克了光源技术壁垒 , 掌握了一种可以用于EUV光刻机的新光源 , 中科院也掌握了物镜系统技术 。 然而 , 让所有人没想到的是 , 被老美打压三年 , 日子很不好过的华为也传来了关于EUV光刻机的好消息 。

近日 , 据SeenPat公布的信息显示 , 华为掌握了一项利用反射镜、光刻装置及其控制方法的EUV光刻技术 。 该专利技术能够有效地解决了相干光固定地干涉图样而无法匀光的问题 。
对于华为掌握的EUV光刻机专利技术 , 多家美媒先后发文表示:怎么会是它?华为的创造能力太匪夷所思了!
美媒发出这样的感慨也是意料之中的事情 , 毕竟在老美的制裁下 , 华为有很多问题需要去解决 , 营收也受到了一定的影响 , 科研实力有可能会受到损伤 , 但华为不但没有透出疲态 , 反而补强了多个“短板” , 如今 , 又攻克了EUV光刻机技术 , 这种活力 , 可谓是“前无古人” 。