中国大陆|半导体硅片产业研究报告（下）( 六 ) 基站|山西省政府|山西省委

随着国内晶圆厂的建设高峰来临，以及国际形式对于国产化的要求不断加剧。国内公司积极投资硅片研发和建设中。在8寸硅片项目中，积极扩产抢占市场，在12寸硅片项目中，积极投入研发，通过晶圆厂的认证。另一方面，扩展产能，为将来的晶圆厂产能爆发做好准备。

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硅产业集团

硅产业集团主要从事半导体硅片的研发、生产和销售，是中国大陆规模最大的半导体硅片企业之一，是中国大陆率先实现300mm半导体硅片规模化销售的企业。公司借鉴国际巨头的发展路径，通过投资，并购实现技术上的突破。硅产业集团目前已经成为中国少数具有一定国际竞争力的半导体硅片企业，产品得到了众多国内外客户的认可。公司目前已成为多家主流芯片制造企业的供应商，提供的产品类型涵盖300mm抛光片及外延片，200mm及以下抛光片、外延片及SOI硅片。客户包括了格罗方德、中芯国际、华虹宏力、华力微电子、华润微电子、长江存储、恩智浦、意法半导体等芯片制造企业。公司客户遍布北美、欧洲、中国、亚洲其他国家和地区。根据2018年业务数据来看，硅产业集团（不含新傲科技）营业额为10亿人民币，包含新傲科技营业额为17亿人民币，在半导体硅片市占率约为2.2%。硅产业目前300mm产能为10万片/月，200mm（含SOI硅片）及其以下的产能为13.5万片/月（等效200mm晶圆）。

目前公司旗下有四家子公司以生产硅片为主分别是上海新昇、新傲科技、Okmetic和Soitec。上海新昇主要开发适用于40-28nm节点的300mm硅单晶生长、硅片加工、外延片、硅片分析监测等硅片产业化成套量产工艺。目前上海新昇具有300mm硅片产能为10万片/月。新傲科技主要生产8英寸SOI硅片为主，公司已经掌握了SIMOX（注氧隔离）、Bonding（键合）、Simbond（完全自主开发的SOI新技术）和Smart-cut四类SOI晶片制造技术，能够提供100mm（4英寸）、125mm（5英寸）和150mm（6英寸）SOI晶片和SOI外延片，能批量提供8英寸SOI硅片。Okmetic成立于1985年5月，位于芬兰赫尔辛基万塔市，在日本，美国都有制造基地。目前硅产业集团已经完成并购，拥有100%的股份。Okmetic的硅片主要以MEMS、传感器、模拟电路以及分立器件芯片为主，并提供定制硅片服务。主要提供150mm-200mm硅片。Soitec是总部位于法国，是全球最大的SOI硅片提供商，公司主要产品是200mm-300mm SOI硅片，主要用于数字电路，射频电路，功率芯片等等部分。硅产业集团通过并购，以是Soitec第二大股东。

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上海新昇、Okmetic和新傲科技的产品均为半导体硅片，存在生产工艺、设备、技术相同或相似的情形，三家公司之间的产品存在交叉、互补，共同组成了硅产业集团丰富的半导体硅片产品线。

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公司在200mm及以下半导体硅片（含SOI硅片）具有成熟、完善的生产销售体系，与多家全球芯片制造企业建立了长久而稳定的合作关系。200mm及以下半导体硅片（含SOI硅片）产能利用率与产销率均维持在较高水平。公司200mm及以下半导体硅片（含SOI硅片）产能分布情况：截至2019年9月30日，公司200mm及以下半导体硅片（含SOI硅片）在切片、研磨和抛光环节的产能是21万片/月（折合成150mm），单晶生长环节的产能在36.8至44.6万片/月（折合成150mm）之间。未来扩产计划。公司正在实施200mm半导体抛光片扩产项目和图形化工艺生产线扩产项目，该项目均已于2017年开始实施，预计2019年建设完成，2020年逐步达产，达产后公司200mm半导体硅片单晶生长环节产能将新增6万片/月，切片、研磨、抛光环节产能将新增4万片/月；200mm及以下半导体硅片光刻产能将达到1.5万片/月，刻蚀产能预计达到0.7万片/月。