国产光刻机往事:难,真的是难…( 四 )


国产光刻机往事:难,真的是难…
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2019年6月3日 , 一架波音C-32A飞机降落在荷兰首都阿姆斯特丹 , 专机里坐着的是时任美国国务卿蓬佩奥 , 美国政坛二号人物 。
他此行目的之一 , 是要阻止一桩中荷企业间的交易:一年前 , 中芯国际花费1.5亿美元 , 向荷兰ASML公司购买了一台EUV光刻机 。
小于5纳米的芯片晶圆 , 只能用EUV光刻机生产 。 有了这台光刻机 , 中芯国际将有望在芯片制程上继续追赶 , 缩短差距 。
向来崇尚市场经济、自由贸易的美国政府 , 此次索性自打自脸 , 向荷兰施压 , 并获得了成功 , 包括中芯国际在内的中国芯片制造企业 , 也因此被卡住了脖子 。
2021年11月9日 , 第三届进出口博览会上 , 全球光刻机龙头ASML副总裁、中国区总裁沈波对媒体表示:公司对向中国出口光刻机持开放态度 。
这下可捅了马蜂窝 。 因为美国正竭力要求其对华禁售产品 , 并且步步紧逼 , 不但要禁售先进制程的EUV光刻机 , 还要禁售成熟制程的DUV光刻机 。
目前 , 双方的博弈还在继续中 。
美国在继续施压 , 但已经禁了EUV的ASML , 显然不愿意再禁DUV , 其CEO彼得·温宁克就表示 , “中国是非常重要的全球市场供应方 , 世界‘不能忽视这种现实’ 。 ”
话说得很委婉 , 但意思很明确 , “一旦向中国断供光刻机 , 全球的半导体市场都会有影响 。 ”
与之对应 , 2022年第一季度 , ASML共交付62台光刻机 , 其中有21台DUV都是销往了中国大陆 。
ASML倾向于支持中国的态度 , 并非完全来自国际友谊 , 也更包括其自身的巨大利益 。 因为今天的中国 , 是任何一个全球化企业不堪承受失去之痛的市场 。
2021年 , 我国集成电路产量3594亿块 , 出口的集成电路为3107亿块 , 同比增长了19.6% 。 谷歌前CEO施密特甚至称 , 到了2025年 , 中国大陆或将成为全球最大芯片产地 。
ASML因此担心:“如果不将光刻机卖给中国 , 五年之内 , 我们必将掌握所有的EUV光刻技术 , 十五年之后 , ASML公司或将失去行业话语权!”
但归根到底 , 核心技术还是得掌握在自己手上 。 就在美国持续加码打压的同时 , 中国光刻机也迎来了史无前例的再次奋起追赶 。
2019年10月 , 国家大基金二期注册成立 , 注册资本2041.5亿 , 其投资方向之一就是光刻机等核心设备及关键零部件 。
2020年8月4日 , 国务院印发了《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展若干政策》 , 对进口掩模版等制造光刻机所需要的原材料 , 实施免征关税 。
2021年2月 , 全国集成电路标准化技术委员会成立 , 包括华为、小米、中芯国际、上海微电子、北大、清华等90家单位 , 基本涵盖了我国集成电路产业链主要的企业、科研院所、高校 。 大家抱团取暖 , 进一步促进产业上下游对接 。
国产光刻机产业也迎来突破 。 上海微电子披露:有望在2022年交付第一台28nm工艺国产光刻机 。 尽管这和7nm、5nm仍隔着数代距离 , 但是差距已经大大缩小 。
回想新中国成立之初 , 一没资金、二没产业基础 , 三没人才储备 , 国产光刻机愣是做到了紧跟世界先进水平 。
当下 , 国家政策持续发力 , 相关企业也在奋力突围 。 更为关键的是 , 产业环境也今非昔比 , 国内光刻机的科研基础、资金实力、产业上下游 , 都已达到世界级 。 集中力量实现再次成功突破 , 已经到达了临界点 。
在光刻机之前 , 中国被卡脖子的行业其实有很多 , 比如面板产业 , 一度这是日韩企业的天下 。 没有技术 , 处于产业链下游的中国厂商不得不耗巨资采购 。