国产光刻机往事:难,真的是难…( 二 )
没有资料 , 只能靠自己摸索 , 徐端颐和团队成员边干边学 , 没日没夜地加班攻关 , 终于在1980年造出了国内第一台投影光刻机 。
1985年 , 中科院45所在光刻机领域取得了重大进展 , 研制出分步投影式光刻机 , 被认定达到了1978年美国GCA公司推出的光刻机水准 。 当时 , 日后的光刻机巨头ASML公司才刚刚诞生 。
国产光刻机有一个好的起点 , 但尴尬的是 , 因为当时国内半导体产业整体太薄弱 。 国产光刻机虽然研发出来 , 却没有很好的下游应用市场 , 无法真正走上市场和商业化的道路 , 只能停留在实验室研究阶段 。
此后的二三十年 , 这种现实愈演愈烈 , 中国光刻机对外的差距 , 也越来越大 。
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1977年7月 , 邓小平邀请30位科技界代表在人民大会堂召开座谈会 。
在那场座谈会上 , 中国半导体灵魂人物王守武说得很直接:
“全国共有600多家半导体生产工厂 , 一年生产的集成电路总量 , 只等于日本一家大型工厂月产量的十分之一 。 ”
王守武的一句话 , 将中国半导体产业的家底抖了个干净 。
在20世纪60年代后期 , 中国一度采用群众运动的方式搞半导体 。 当时 , 报纸上甚至出现了如此报道:街道老太太在弄堂里架一台扩散炉 , 也能做出半导体 。
蛮干硬上 , 产业发展违背科学规律 , 国内的芯片产业基本处于分散的手工式生产 。 在同一个时期 , 日本则依靠“产、官、学”相互协作体系 , 成为全球半导体市场的有力竞争者 , 其光刻机技术也取得长足的进步 。
1984年 , 尼康推出量产型自动化步进式光刻机 , 凭借良好的性能 , 一如太平洋战争初期那般 , 印刻着“MadeinJapan”的光刻机 , 把美国厂商打得节节败退 。 尼康甚至从美国厂商GCA手里夺下了IBM、英特尔、AMD等一系列大客户 。
一消一涨之间 , 中国与世界先进水平的差距 , 被拉得更大了 。 这种差距感染了规划工作者 , 中国半导体行业由此开始了急进式的追赶之路 。
从1986年到1995年 , 国家部委先后组织了半导体领域的“三大战役”:531战略、908工程、909工程 。 规划工作者希望通过市场化和运动式的集中攻关并行 , 换取半导体技术的进步和产业跨越的发展 。
但国内如火如荼的造芯运动 , 却没有成为国产光刻机的幸运时刻 。
改革开放 , 让美、日光刻机厂商紧盯着中国市场 , 再加上国产光刻机性能本就落后 , 国内好不容易起来的半导体企业和光刻机市场需求 , 却成了送给外资的礼物 。
为迅速抢占中国光刻机市场 , 国际厂商除了常规竞争 , 可谓是千方百计 。 一些企业甚至还推出特别福利:买光刻机 , 送出国游 。
国门刚开 , 中国的厂长经理们总想出去看一看、玩一玩 , 顺便学些先进经验回来 。 再加上对方的产品的确优秀 , 所以国内企业普遍就选择了国外光刻机 。
许多原本购买徐端颐团队投影光刻机的公司 , 纷纷取消了订单 。
本身就落后 , 且没有什么市场的国产光刻机 , 此时处境更加尴尬 。 产品卖不出去 , 从市场上找不到钱的同时 , 连生存也被釜底抽薪:
在20世纪80年代初 , 我国实行“拨改贷”的政策 , 将政府对国有企业的财政拨款 , 改为企业向银行贷款 , 导致国家对电子工业投入的减少 。
既赢不了市场 , 也没了国家经费支持 , 国产光刻机因此站到悬崖边 , 许多光刻机项目纷纷下马 。
芯片产业日新月异 , 光刻机亦是如此 。 当步伐停下后 , 曾经尚可奋力一争的国产光刻机 , 与国际同行的差距因此被迅速拉大 , 甚至几乎处于停滞状态 。
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