货殖列传丨弥费科技缪峰：做半导体时代的“淘金铲子”( 二 ) 【编者按】《史记·货殖列传》

AMHS是硬件和软件的组合，可划分为传输设备、存储设备、净化设备和控制软件。空中天车（OHT）、地面自主搬运机器人（AMR）、智能晶圆存储设备（STK）等硬件设备，以及调度这些硬件设备的软件系统（MDS）是晶圆厂一套完整的AMHS系统，这也是晶圆厂背后物料转移的生命线。
AMHS是一套庞大的系统，但它不像半导体工艺制程设备那样需要5年、10年才能完成全部验证。缪峰的经验是， “当你一口气吃不下那么多的时候，可以从一个设备开始分阶段开发，最后把所有产品组合起来，完成一整套AMHS交付给晶圆厂。 ”
地面移动机器人是弥费科技迈出的第一步。国外半导体设备巨头在AMHS领域已有20多年的积淀和发展，近几年，由于人力资源紧张，晶圆厂对良率要求越来越高，像地面移动机器人这样的地面传输系统需求凸显，新增市场使得国内外供应商几乎站在同一起跑线。

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MR移动机器人从2016年起，弥费科技陆续为国内外多个8英寸和12英寸晶圆厂提供AMHS产品，包括调度软件、传送及存储设备，并为40/28纳米及以下先进工艺节点提供净化设备。目前一些成熟设备在国内某些晶圆厂里能达到10%-20%的市场占有率，个别产品接近30% 。“本土的半导体设备生产供应商如果有一些突破，在这个领域可以比较快地打开市场。 ”缪峰说，通常12英寸晶圆厂一套完整的AMHS占晶圆厂固定投资的3%左右，一座超大规模量产的半导体工厂AMHS就需要投资数千万美元甚至数亿美元。弥费科技的加入意味着在中国市场有了第三个玩家参与游戏，而国内晶圆厂头部企业也开始给国产半导体设备厂商更多机会。
调度晶圆厂里的“交通”
晶圆制造是世界上最复杂的制造业之一。一片晶圆要在几百台设备间流转，数十次重入同类型的加工设备，经过成百上千道工序，其复杂程度，甚至超过大都市的公共交通系统。
晶圆厂对洁净度等级要求也极度严苛。洁净室里产生最大污染的是人，如果减少人的活动，势必对产品良率带来提升。
相比机器，人力搬运物料效率也更低， “我们以前在晶圆厂里都干过，交接班或吃中饭的时候，设备稼动率明显下降，但机器人不会存在这个问题，只要有电，它就一直在执行搬运任务。 ”
AMHS的出现就是要保证每一片晶圆的每一个流程正确，最大限度利用生产设备，减少空置状态，提升产品良率。
OHT是晶圆厂空中传输的主要设备，一辆无人搬送车运送一盒晶圆，沿着空中轨道一辆接着一辆密集穿梭，执行搬运和传送任务，自主移动机器人行走在工厂走道，智能存储晶圆设备记录着每一批货物的位置。

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FoupStocker晶圆盒存储缪峰说，晶圆厂每天有几十万条传送任务。这时候，软件调度系统就像城市里的交通控制中心，指挥和控制整个生产过程，调控不同批次晶圆在生产设备间的流转，一旦流程出错，生产路径就会堵塞。而如果没有适当的物料运送过去，对生产设备来说就是极大浪费， “每一台设备都很贵，我们希望它一直是满产的。 ”弥费科技正在开发的天车OHT即将进入某晶圆厂进行设备验证，而软件调度系统是控制整个晶圆厂自动化物料搬运系统的核心软件。
去年，弥费科技和华中科技大学成立AI算法研究室，将AI算法引入半导体调度系统，研究传送任务排序和传送路径的优化，以此提高晶圆厂生产效率。