本文转自：新华日报探访“国之重器”纳米真空互联实验站——漫步“太空环境”|漫步“太空环境”，纳米材料打开新世界( 三 ) 本文转自：新华日报

李坊森曾在英国伯明翰大学做联合博士研究，又在清华大学薛其坤院士组做博士后研究工作， 2015年来到纳米真空互联实验站任副研究员。从英国回来后，李坊森直观感受到我国的科研投入大、设备更新换代速度快，这些都让国外不少科研人员羡慕。值得一提的是， 2020年美国国家科学院每四年发布一次有关纳米技术、科学与商业应用的咨询报告中，详细介绍了纳米真空互联实验站，并称美国没有相媲美的工程。 “有些硬性条件的差距和国外相比也在渐渐缩小。 ”李坊森举例，国内的设备类经费相比于英国较少，但他回国后发现，不少国内专家从最核心的扫描隧道显微镜开始自主研发，慢慢搭建出一整套设备。 “从最基础的东西做起，这非常有利于培养科研人才。 ”李坊森说，搭建一整套设备至少要两三年以上的时间，这意味着科研人员拥有了可以“狠下功夫静下心”的科研环境，不再人人急功近利追求时髦课题。 “搞科研不仅需要发表期刊，还要拥有深厚的技术积累，这样才能推动科技进步。 ”
“我们现在要做的就是把制造路线往顶端再推一推。 ”张珽感叹，真空互联的器件化仍然是难点。超高真空环境怕水，在实验站大厅，可以看到设备外包着许多导热铝箔，隔段时间就会将设备通过烘烤除湿。此外，真空中不能使用寻常的“湿法”刻蚀，比如利用酒精或丙酮清洗光刻胶。 “这时必须要开发‘干法’刻蚀或利用其他气体做出芯片的图形化。 ”张珽表示，目前全世界从事该领域研究的并不多，这相当于开辟了一个新赛道。 “攻克该难点需要国家的大力支持，大家脑洞大开去突破一个世界难题，将真空互联制造路线作为未来纳米器件发展的主导路线。 ”
“目前二期建设已基本完成。未来，装置三期将加强多功能性和不可替代性，力争列入国家重大科技基础设施。 ”张珽表示，纳米真空互联实验站最终将建设成国际上最先进的纳米器件与材料综合研究系统和公共实验平台，它不仅是江苏省重大科技基础设施的核心单元，也将为我国在纳米材料、关键器件和核心装备领域形成自主创新、不可替代的核心竞争力，提升基础设施保障能力，成为引领纳米科技的重要基地！