2012年 , ASML营收仅为47.32亿欧元 , 到了2016年就已经增长至68.75亿欧元 , 由此来看 , 2012-2021十年间 , ASML营收成长率高达295.7% , 而2016-2021五年间 , 成长率则为169.6% 。事实证明 , 现实数据只会更加惊人 。
想要实现这样的营收预期 , 产能的扩充自然是必不可少的 。一直以来 , ASML的光刻机都处于一个供不应求的状态 , 产能越多 , 营收才能更多 , 尤其那些适用于先进制程的EUV、High NA EUV设备 , 虽然制作难度上升 , 但相对的价格也是水涨船高 。
从ASML扩产计划来看 , 到2025-2026年EUV年产能增加到 90 台 , 过去十年间 , ASML EUV出货量从2012年的1台 , 增长到了2021年的42台 , 随着产能的增加 , 未来五年/十年EUV的出货量肯定也会取得显著增长 。
到2027-2028年 , ASML还计划将 High-NA EUV 产能增加到 20 个系统 , 据路透社此前报道,新一代High-NA EUV设备订价约4亿美元 , 上一代EUV光刻机售价大约1.2亿美元 , 这就意味着High-NA EUV设备售价提升了两倍多 。
今年年初ASML收到来自英特尔的最新款High-NA EUV「EXE:5200」首张订单 , 英特尔预计到2025年该设备加入量产 , 除英特尔外 , 目前台积电、三星等一线晶圆厂也都已预购了High-NA EUV。
与EUV/High-NA EUV相比 , DUV就便宜了很多 , 平均每台售价约0.28亿欧元 , 但这并不妨碍其成为此次扩产的主力军 。ASML计划到2025-2026年 , DUV 系统的年产能增加到600个 , 几乎是2019-2021年ASML 3年的DUV出货总量 。
数据显示 , 2021年ASML共出货了234台DUV光刻机 , 2020年共出货193台 , 2019年共出货169台 , 三年总计596台 , 可见此次ASML扩产力度不可小觑 。
佳能:产能翻番
在光刻机的扩产方面 , 并不是只有ASML在行动 , “落魄”的光刻机贵族佳能居然时隔21年宣布扩产计划 。之所以说“落魄” , 想必大家都知道 , 佳能光刻机在上世纪也是一方霸主的存在 , 但在干湿路线之争之后 , 佳能就有些赶不上ASML的步伐了 , 尤其在EUV设备领域 , 更是难以望其项背 。
在过去相机是佳能的主营业务 , 但近些年全球数码相机业务持续下滑 , 佳能也难免受到冲击 , 而光刻机业务却逐渐成为了增长动力 , 毕竟据华尔街日报去年年底报道 , 1995年制造的二手光刻机佳能FPA3000i4 , 在2014年10月只值10万美元 , 今天则值170万美元 , 涨价17倍 。二手的都这么抢手 , 一手的更不用多说了 。
目前 , 佳能主要在宇都宫事务所(宇都宫市)和阿见事务所(茨城县阿见町)等2处日本工厂生产半导体光刻设备 , 专注于i-line到KrF的低端光刻机系列 。佳能财报显示 , 未来随着半导体设备投资的增加 , 佳能的光刻机业务还会持续增长 。
或许是觉得“与其让黄牛赚这个钱还不如让我自己赚” , 又或许是受到地缘政治的影响 , 也有可能是力压的NIL(纳米压印光刻)技术有了突破性进展 , 总之 , 这个曾经的光刻机龙头时隔21年宣布扩产 。
据日经新闻网10月初报道 , 佳能将在宇都宫事务所内约7万平方米的空地上建设半导体光刻设备的新工厂 , 包括厂房建设费用和生产设备在内的总投资额预计达到540~560亿日元左右 , 将于2023年内开工建设 , 产能将提高至现在的2倍 , 力争2025年春季投入运行 。
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