光刻机|国产EUV光刻机,具体分工和关键人物出现?网友:稳了

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光刻机|国产EUV光刻机,具体分工和关键人物出现?网友:稳了

相信大家也知道 , ASML生产的EUV光刻机 , 一直无法对我们发货 , 这是因为美国的干预 , 然而可能大家不知道的是 , ASML的EUV光刻机 , 在最关键的EUV光源上 , 其实采用的是美国cymer公司的产品 , 而且过半的零部件也是来自美国 。
因此用ASML的话说 , 他们也只能静观其变 , 但是当得知EUV光刻机被卡脖子之后 , 中科院方面很快就表示 , 将会解决卡脖子的光刻机问题 。
在国产EUV光刻机方面 , 这应该是我们所了解的有限的信息了 , 不过现在 , 我们又发现了更多关于国产EUV光刻机的消息 。

首先在EUV光刻机上 , 我们已经知道 , 最为重要的是EUV光源 , 而中科院解决的就是EUV光源的问题 。
我们发现 , 在EUV光源上 , 中科院已经成立了多个部门和多个岗位 , 由此可见 , 研发EUV光源并不是光源上的唯一工作 。
例如强场激光物理国家重点实验室 , 该部门提供了EUV热结构设计师、EUV光机结构设计师、EUV物理实验与理论研究、EUV光源自控系统设计师 。

由此可见 , 这是对EUV光方面更深层的细部拆分 , 但这还是一些比较浅层的研发 , 更深一层次的研发还有如下多项 , 包括:

极紫外光源研究、光刻机EUV光源产生理论与实验研究、高亮度EUV光源及用于半导体维纳器件的成像检测、EUV光刻机的超快检测光源技术等 , 这些都需要博士后来完成 。

在精密光学工程部 , 还有EUV光学设计工程师 , 需要负责的内容较多 , 例如光学设计建模和模拟仿真 , 集成系统或设备的EUV光学模块 , EUV光学性能的鉴定以及故障处理 , 此外 , 还要考虑可靠性、可用性、可维修性和成本问题 。

在精密光学制造与检测中心 , 还要开展极紫外元件超精密制造与检测技术的研发等 。
因此我们看到 , 只是EUV光源这一个单一方面 , 中科院就为此进行了几乎是立体式的全范围开发 , 考虑了多个层次 , 也就是说 , 不仅要研发出EUV光 , 还要解决光在光刻机中使用的问题 , 以及相关元件的研发问题 。
不过 , 除此之外 , 此次EUV相关技术的带头人 , 似乎也已经出现 , 我们看到 , 中科院已经成立了林楠课题组 , 组长林楠曾是ASML研究部研发科学家、研究部量检测光源技术负责人 , 并且连续7年获得ASML专利奖励 。

而成立的林楠课题组 , 今年就在招聘极紫外光学设计工程师 , 所以林楠大概率会是EUV项目的关键人物 。
此外 , 我们还发现中科院也在对极紫外学招聘高级研发人员和高级工程师 , 最高薪资可达百万 , 最高补贴可达300万 。

当然 , 以上只是我们通过中科院官方渠道了解到的一些细节 , 或许还有更多的细节是没有公开的 , 因此这或许只是在EUV项目上具体分工的一部分 , 也或许还有更多的关键人物没有出现 。


但是当我们看到这些信息后 , 已经有不少网友表示 , 国产EUV光刻机其实已经稳了 。
因为如此细致的分工和如此强大的团队 , 让我们看到中科院在EUV方面已经有了清晰的目标 , 而且该如何破局EUV , 中科院方面已经通过任务拆分的形式逐一破解 。