芯片制造，洗洗更健康( 三 ) 本文来自微信公众号：果壳硬

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【芯片制造，洗洗更健康】国内半导体设备国产化率及主要企业，图源丨国海证券
全球半导体清洗设备市场呈现高度集中的态势。据Gartner数据， DNS（迪恩士）、TEL（东京电子）、SEMES与LAM（泛林半导体）分别占据2020年全球半导体清洗设备市场份额的45.1%、25.3%、14.8%和12.5% 。 [10]
国内能提供半导体清洗设备的企业非常少，主要包括盛美半导体、北方华创、芯源微及至纯科技四家公司。国内的短板主要在于先进湿法清洗设备， DNS（迪恩士）、TEL（东京电子）、LAM（泛林半导体）与SEMES四家公司就包揽了单片清洗设备市占率的90% 。

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半导体清洗设备国内外情况，制表丨果壳硬科技
目前四家国产企业均已具备130nm~28nm主流制程清洗设备技术，其中盛美半导体已在研7/5nm清洗设备技术。

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国内主要清洗企业产品和技术进度，制表丨果壳硬科技
国产清洗设备的困难较大，导致赛道玩家极少，无外乎以下几方面因素：
半导体最先进制程的研发的材料和晶圆厂商深度绑定，久而久之难免会集中度会愈加严重[11]；
市场客户会优先选择成熟设备，减少磨合时间和机会成本，降低经营风险，后进者要证明自己很难，特别是芯片这种生产成本极高的产业；
除了清洗设备本身存在很高的技术壁垒，国产化核心部件供应大部分需要进口，关键材料国产化也是一大心病；
半导体产业大部分工艺技术都存在专利，后发企业稍有不慎就会踏入侵权的射程；
半导体人才严重缺乏，上游设备的领军人才尤甚。 [12]
半导体一直是技术壁垒高、知识产权错杂的领域，长期市场运作下细分市场会呈现仅剩1~2家、至多3~4家企业的局面，居于寡头的厂商会采取峰价措施与潜在竞争者间博弈，半导体清洗领域亦如此。 [13]
除此之外，地缘政治摩擦也成为不稳定因素之一：2022年3月，美国证监会（SEC）将纳斯达克与A股两地上市的盛美半导体列入“预摘牌”名单。
但再艰难，也要有。在半导体产业上国内起步晚，是行业追赶者，从后发者角度来看，制造设备是最基础也是最重要的环节[14] 。与国产光刻机同理，国产清洗设备至关重要，专家认为，只有拥有强大且自主可控的半导体设备和材料产业，在知识产权、能力水平、供应链三个方面共建实力，才能摆脱受制于人的被动局面。 [15]
目前，国内产业虽在中低端清洗设备上取得了一定发展和进步，但关键和材料上仍处于严重依赖进口的局面，供应链安全仍然是一大问题。同时，在高端清洗设备领域的空白，还有待继续填补。 [12]
References：
[1]平安证券：半导体清洗设备：筑芯片良率保障墙，看国产品牌角逐差异化.2020.8.31.https://pdf.dfcfw.com/pdf/H3_AP202008311404507199_1.pdf?1598990956000.pdf
[2]财经网：大基金投资半导体清洗领域！这家公司有望成细分龙头？.2021.10.19.http://m.caijing.com.cn/article/234139?target=blank
[3]SEMI产业投资平台：从盛美的崛起，看新时代中国半导体清洗设备市场的发展机遇！.2021.11.4.https://mp.weixin.qq.com/s/hmXkdYaMTeJCY2EpzBIPsw
[4]杨丹凤.微电子工艺清洗技术的应用分析[J].通讯世界， 2017 ， (23):331-332.
[5]生态环境部：《电子工业污染物排放标准半导体器件件》.https://www.mee.gov.cn/gkml/hbb/bgth/200910/W020080620446262906030.pdf