光刻机|ASML：中企正在“关闭”EUV光刻机的大门阿斯麦尔|大门

文章图片

文章图片

文章图片

文章图片

ASML凭借独家生产EUV光刻机的技术优势，在光刻机市场供应链中占据极大地位。按照ASML的目标，未来还会生产出更多的EUV光刻机，大幅提高产能。预计会在2025年达到年产70台的水准。

但是由于只有ASML能生产，给各国追逐顶级芯片制造产业链带来更多的变数，因此各国纷纷行动，展开对顶级光刻机的研究。
哪些国家展开行动，对顶级光刻机又进行了怎样的研究布局呢？若各国EUV光刻机破冰，对ASML意味着什么？

关于顶级光刻机研究，各国纷纷行动ASML的EUV光刻机客户就那么几个，台积电、三星、SK海力士、英特尔。这四家企业是目前明确采用ASML EUV光刻机的客户。
一般来说，购买EUV光刻机必须具备两个个条件，一个是在可供货范围内，不受任何规则影响。第二个是有足够的资金，用于支付昂贵的EUV光刻机费用，一台大概价值1.2亿美元。

钱的问题好解决，很多半导体制造巨头都能支付这笔费用。但是处在自由贸易市场，不受某些规则影响，就已经给ASML排除了一大批潜在客户。
而且采购EUV光刻机的厂商必然是掌握了相应技术实力，有生产高端芯片的需求，否则不可能花费大价钱买用不来的设备。这又筛选了一大批厂商。
EUV光刻机主要用于生产高端芯片，全球芯片制造商当中，能造出的又有多少。所以购买EUV光刻机的两个条件并不是那么容易达成的。

但实际上，各国对EUV光刻机的需求并不小，只是奈何市场规则， ASML无法做到EUV光刻机的自由出货，既然如此，那便展开自主研发，于是关于顶级光刻机的研究，各国纷纷行动。
有哪些国家对顶级光刻机进行了怎样的布局呢？目前来看，对顶级光刻机有参与研究布局的国家主要包括三个，分别是中国、俄罗斯、日本。

这三个国家在顶级EUV光刻机设备方面，有的展开理论基础的研究，有的进行实际产业链布局，也有的还在定下目标计划阶段。
比如中国在EUV光刻机展开基础理论的研究，并且还有中科院参与的身影。
根据中科院上海光机所发布的2022博士后招聘公告可知，其中的工作岗位涉及到EUV光刻机。如“原子分子物理”这项工作方向的工作内容为光刻机EUV光源产生理论和实验研究。

中科院招聘的多项工作岗位和EUV光源有关，如此明确的定向布局，意味着什么不用多说了。
不过和中国布局EUV光刻机光源理论研究不同，俄罗斯选择的是另辟蹊径，用X射线研发X射线光刻机。计划造出媲美ASML EUV极紫外光的光刻机设备。
相比于EUV极紫外光， X射线的波长更短，分辨率更高，如果俄罗斯研究成功，必然是ASML不愿看见的。

最后就是日本了，在大部分人的印象中，日本半导体产业的实力主要集中在光刻胶材料， EUV光罩或者是电容，电阻等。但许多人容易忽略的是，日本光刻机产业的实力同样不俗。