尽管如此，在我们进入工厂之前，我们得到了一个安全袋。
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这里面装满了消毒湿巾、洗手液，还有我们用于制造厂的安全眼镜和专门的无雾湿巾。每个人在工厂都使用自己的安全眼镜以确保舒适，如果您有眼镜，由于要求不同，这些必须提前分类。有了我们的 All Access 通行证，是时候做好准备了。正如您可能想象的那样，晶圆制造是一个微妙的过程。洁净室必须非常干净，并且还要不断清洁。因此，我们必须穿的所有洁净室设备都是新洗的，并且还有个人卫生要求，例如有限的除臭剂和无护发产品。我和最后一个发生了冲突。但该过程的开始是使用西装前手套、胡须网、发网和西装前靴保护装置。
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一些晶圆厂会从有粘性垫子开始，您必须在上面行走才能去除鞋子上的污垢，因为您在晶圆厂仍然穿着自己的鞋子。这也可能与强制风淋（穿上衣服）相结合，以帮助去除绒毛。对我们来说，我们直接穿上了兔子套装——包括兜帽、套装和鞋子。这里的关键是从上到下穿上套装，这样你就不太可能把灰尘和微粒放在自己身上。完整的“兔子套装”装束，减去最后的乙烯基手套，看起来像这样：
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每个不同的部件都有多种尺寸，从我认为的介质转换为工厂认为的介质总是有点猜测。着装的最后一部分是在镜子里上下仔细检查，如果你有同事，也可以和同事一起检查，以确保进入工厂时每个人都穿着合适的靴子。然后，我们进去。如果您以前从未去过晶圆厂，那么您首先注意到的是洁净室地板上的所有东西都是黄色的。这是设计使然——黄色钠灯减少了房间中光的波长数量，以阻止它们中的任何一个可能与正在运输的硅片相互作用。
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工厂的规模是巨大的，我们说的是足球场上的足球场（不管你是指美国足球还是世界其他地区的足球）。像这样的工厂，为了盈利，必须扩大规模。这意味着不仅有 20 台类似的机器，而且还有数百台不同的机器，具体取决于所需的流程。如果每个处理器需要进行 80-120 个掩膜步骤，那么每个掩膜步骤都需要沉积、光刻、蚀刻、清洁和检查。对于大型 EUV 机器而言，每个步骤的机器成本从一百万到数亿不等。
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一系列 EUV 机器当您进入晶圆厂时，您会注意到的一件事就是它很高。这些建筑物被设计成是自主的，但也很容易最大限度地延长正常运行时间。这意味着如果出现故障（如天花板灯），可以在不禁用任何东西的情况下对其进行修复。如果需要维修或更换，即使是天花板灯也可以从工厂上方进入。但fab面积之所以这么高，是因为有些机器有两层楼高，尤其是EUV机器。有时这些必须被提升，或使用加强梁来安装它们。很难错过。
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每台机器还需要化学品和电力，这些都在子晶圆厂下方提供。虽然我之前去过一个子工厂，但我们无法参加这次访问，但子工厂和洁净室本身一样大。有人告诉我，EUV 机器需要比洁净室空间多 6 倍的子晶圆厂空间，这表明有时当涉及到原始面积时，支持这些机器所需的不仅仅是机器本身。
