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荷兰位于欧洲西部 , 国土面积不算太大 , 仅相当于我国的四川省 。 就在这样的一个国家诞生了光刻机巨头ASML , 独家垄断了EUV光刻机 , DUV光刻机的份额也不小 。
多年来 , ASML在全球半导体设备企业营收排名中位居第二 , 台积电、三星、英特尔等晶圆大厂都依赖它 。 然而 , 风光的背后也有一些无奈 , 光刻机出货屡屡受到限制!
所谓的光刻机出货限制 , 当然不是针对台积电、三星及其他地区的晶圆企业 , 而是针对我们中企 。 之前是限制EUV光刻机 , 因为EUV是7nm及以下高端制程必备的 。
所以18年时 , 中芯国际向ASML订购了一台EUV , 美方四次施压导致未能出货 。
后来 , 美方修改了芯片规则 , 限制出售10nm及以下高端制程的技术、设备等出货给中企 , EUV依然在限制行列 。 这确实给我们造成了影响 , 不然7nm就实现量产了 。
这之后 , ASML虽然不能出货EUV光刻机给中企 , 但DUV还可以正常出货 。 DUV光刻机按说通过多次曝光 , 最高可以做出7nm , 但那样做良率不好保证 , 且成本过高 。
因此 , EUV光刻机推出后 , 台积电7nm就用EUV替代了DUV 。 如今 , DUV光刻机对于我们来说 , 最多用于14nm工艺 , 大部分用于28nm及以上成熟制程芯片制造 。
鉴于芯片限制 , 我们也开始注重发展成熟制程为主 , 中芯国际也一直在建28nm厂 。
即使如此 , 美方依然不放心 , 前段时间又发布芯片限制新规 , 扩大限制14nm及以下制程 , 重点限制芯片制造设备 , 首先是美三大设备商应用材料、泛林集团、科磊 。
然而 , 全球前十大半导体设备厂商中 , 除了3家美企 , 还有2家荷企和5家日企 。
因此 , 美方还积极游说日本和荷兰 , 希望他们也能够跟随实施这次新规 , 限制本国企业出货给中企 。 尤其是荷兰的ASML , 美方希望能够进一步扩大限制DUV光刻机 。
美方觉得只有这样全方位实施限制 , 才能达到新规的预期目的 , 才能对我们形成有效的封锁压力 。 然而 , 他们似乎并不积极 , 日方一直在犹豫 , 荷兰直接表示不跟随 。
因为日企设备商在大陆的市场份额都不小 , 跟随新规限制将影响他们的份额 , 表示非常担忧 , 为此日方一直在观望 。 而荷兰大臣直接表示 , 不会照搬美方的限制新规 。
ASML更是直接拒绝了美方的要求 , 表示限制DUV光刻机会造成全球供应链中断 。
然而 , 情况很快发生变化了 , 据美媒消息显示 , 日本和荷兰已经同意跟随实施新规的出口管制 。 如果消息属实的话 , 那么ASML的DUV光刻机将会被限制出货给中企 。
对此 , ASML总裁近日接受采访时开始质疑 , 美方要求荷兰实施的对华限制新规是否合理 。 由此看来 , ASML总裁是真的急了 。 外媒评价道 , ASML总裁开始“发飙”了!
ASML总裁不满的是 , 限制EUV已做出了牺牲 , 而销售替代技术的美企却从中获利 。
如今 , ASML来自中企的销售额才15%左右 , 而美企设备供应商的一般比例为25%左右 , 有的甚至超过30% , 他们依然能够向中企出售最先进芯片和相应的制造设备 。
然而 , ASML只能出售较老的芯片制造设备 , 就这样还在要求他们扩大DUV的出货 。
为此 , ASML总裁才会质疑美方新规的合理性 , 认为那只是有利美企销售替代技术产品等 。 其实 , 情况就是如此 , 一直以来美方实施限制 , 美企都会优先获得相应许可 。
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