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知道光刻机故事的人都清楚 , 在ASML之前 , 日本的尼康、佳能才是老大哥 。
不过在ARF光刻机时 , 也就是采用193nm的干式光刻机的时候 , 发生了分歧 , 日系厂商认为要继续研发使用波长更短的光源比如165nm , 来提高光刻分辨率 。
但是165nm波长的光线非常不稳定 , 研究了几年 , 大家都没进展 。
【realme GT Neo 5|尼康造出7nm光刻机,佳能押注5nm NIL光刻机,ASML慌了么?】这时台积电的林本坚站了出来 , 表示以前的光刻机是用空气做介质的 。 如果采用水为介质 , 利用水的折射 , 采用193nm的光源 , 在水的折射下可以等效于134nm , 比165nm的光线分辨率更好 , 还跳过了165nm这个难搞的光源 。
但尼康、佳能不信 , 打算一条道走到黑 , 继续研究165nm光源 , 不用水为介质 。
而ASML还是小厂 , 就打算搏一搏 , 说不定单车变摩托了呢?于是ASML与台积电合作 , 制造以水为介质的浸润式光刻机 。这一搏就成了ASML的翻身之作 , 第一台浸润式光刻机ARFi制造出来 , 采用193nm波长 , 但等效于134nm , 马上投入台积电的生产线上 , 效果非常好 。
而佳能、尼康不认输 , 坚持不造这种以水为介质的光刻机 , 于是市场慢慢的全被ASML抢走了 , 后来ASML更是造出了EUV光刻机 , 独家垄断了光源等等 。 导致尼康、佳能一蹶不振 , 再也翻不了身 。
后来尼康认错 , 也开始接受现实 , 制造浸润式光刻机 , 但佳能死都不认错 , 坚持不造浸润式光刻机 。 如今除了ASML , 日本尼康也能够量产用于生产7nm及以下制程的浸润式光刻机 , 也就是DUV中的ARFI光刻机 。
而佳能则转身研究“纳米压印光刻(NIL)”技术去了 , 想要颠覆ASML的EUV光刻机技术 , 要换道超车 。
目前佳能已经造出了NIL光刻机 , 且已经与内存厂商铠侠合作 , 用于制造内存芯片 , 不过分辨率还不够理想 , 但前方已经看到光亮了 , 佳能表示 , 很快可以达到5nm的分辨率 。
按照佳能的报表 , 2022年光刻机的营收增长11% 。 但表示2023年要重金投入光刻机 , 产能要提升两倍 , 同时再押注NIL光刻机技术 , 尽快实现5nm精度 。
与ASML不一样 , ASML的光刻机依赖美国的技术 , 但日本的光刻机 , 不管是尼康的、还是佳能的 , 基本上都是自主可控的 , 不需要美国的技术 , 不受美国的长臂管辖 。
所以我们看到美国赶紧联手日本 , 来围堵中国半导体产业 , 就是怕日本卖光刻机给中国 。
但不可否认的是 , 虽然美国已经联手日本 , 但日本光刻机能否卷土重来可能会成为现实 , 而借助中国市场 , 实现光刻机产业的“弯道超车” , 可能也会是日本光刻机厂商们的选择之一 , 就看筹码够不够了 。
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