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美国封锁和打压我国的芯片产业 , 甚至先后发布限芯令和颁发芯片法案 , 还把台积电都威胁搬到了美国 , 在使绊子的前提下 , 我国还是排除干扰 , 造出新型光刻机 , 能够实现22NM工艺制程 , 现在已经投入使用 。
美国禁止世界上具有先进技术和设备的半导体公司 , 光刻机企业 , 和我国合作 , 生怕我国获得更好的技术 , 在研制方面转入快车道 , 赶超美国 。
美国很有信心封锁芯片相关领域的技术 , 因为芯片的制程方式必须依赖光刻机 , 如果切断供货渠道 , 自然就无法得到更好的设备 , 对于芯片来说 , 只有设计 , 没有精密机器进行加工 , 也是无法实现生产的 。
世界上目前精度最高的光刻机 , 内部一共多达十万多个零部件 , 也是人类能建造出来的最精密的仪器之一 , 全球范围内对于芯片生产的精度 , 已经达到了7NM制程 , 但是这也是经过了几十年的研发才取得的成就 。
像韩国三星电子和台积电 , 已经早在两年前就一直扬言要进行3NM芯片的量产 , 但是时至今日 , 还是没能实现大量的生产 , 可见精度越高 , 生产难度越大 , 良品率就越低 。
我国中科院光电研究所 , 现在通过自主研发 , 取得了技术突破 , 研发建造出国产的“新型光刻机” , 也叫超分辨力光刻机 。 现在已经通过了各项测试 , 符合验收标准 , 已经开始投入使用 。
现在世界上的光刻机最先进的技术就在荷兰的阿斯麦公司 , 这种光刻机的设计建造原理 , 曝光方式和我国研发的不同 。
我国绕开了其科研方式 , 可以说是独辟蹊径另起炉灶 , 具有开创性的研究成果 , 和美国的电子束光刻机的科研方向趋同 , 属于更加先进的技术思路和研发方式 。
目前作为参照比较的话 , 美国的电子束光刻机 , 在实验室中实现了0.7NM芯片的制造 , 这个精度是让人震惊的 , 虽然没能达到量产 , 但是在研发成果和参考意义方面 , 都是具有非常重要的作用 。
我国如果继续在这个研发方向深耕和努力 , 将会取得更加喜人的成就 。 也会为我国芯片领域的研发工作 , 提供更加广阔的发展空间 , 和打下更加坚实的基础 。
现在中科院光电研究所的这种超分辨力光刻机 , 已经投入了使用 , 会在生产中不断进行优化和完善 , 为提升精度制程 , 做出更多数据积累和对比 。
全球精度最高的光刻机 , 是荷兰的阿斯麦生产0.55NAEUV光刻机 , 这个精度创造了世界之最 , 也是目前人类使用EUA光刻机能建造出来的纳米芯片极度上限了 。
然而美国的一家企业ZYVEX LABS直接超乎人们想象 , 研发电子束EBL光刻机 , 挑战精度制程的埃米级 , 让人震惊不已 , 这种光刻机的效能 , 是荷兰的EUA光刻机所无法达到的 , 也是科技发展的又一条新的路径 。
现在我国的超分辨力光刻机 , 就是趋同于美国的这种电子束光刻机的原理 , 可见剑走偏锋 , 还能继续挑战科技的上限 , 未来我国在光刻机方面一旦获得更好的进展 , 为制造精度更高的芯片 , 提供强有力的保障 。
那么美国的电子束光刻机竟然达到了科技天花板般的精度 , 后来者还有超越的空间和可能吗?实际上 , 美国现在的电子束光刻机 , 虽然精度上达到了超乎想象的程度 , 但是还是仅限于实验室中完成了生产 , 现在来看不具有量产芯片的能力 , 这就是这种光刻机的最大弱项 。
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