半导体业|半导体行业报告：半导体设备零部件赛道坡长垒高，国产替代正当时( 四 ) 市场规模

2.2.2.射频电源：美国两大巨头占据主要市场份额
射频电源是一种可以产生固定频率的正弦波电压、频率在射频范围(约3KHz～300GHz)内、具有一定功率输出的电源，是化学气相沉积设备（PECVD）、原子层沉积设备（ALD）、物理气相沉积设备（PVD）、蚀刻设备、离子注入设备等半导体设备的工艺电源。射频电源在常用的电源中是比较复杂的，对射频功率的馈入、匹配器的匹配以及屏蔽和接地等都有比较高的要求。

本文测算2021年全球半导体设备零部件市场规模为513亿美元，射频电源占整个半导体设备零部件市场的10%左右， 2021年半导体射频电源市场规模在50亿美元左右。美国两大厂商MKS Instrument（万机仪器）和Advanced Energy（先进能源工业）是半导体射频电源市场的领导者，这两家企业市场份额较高， 2021年MKS Instrument半导体业务（包含其他产品）的营业收入为18.29亿美元， Advanced Energy半导体业务（主要为射频电源）的营业收入为7.1亿美元；国内厂商英杰电气在半导体射频电源上也有所突破，目前已和国内半导体设备龙头企业进行合作。

2.2.3.真空泵：海外厂商占据90%以上市场份额
真空泵是半导体主要工艺设备中的核心部件，为集成电路制造前道工序的四大核心设备中的薄膜、刻蚀设备、离子注入设备（约占主要工艺过程的70%）提供制造工艺所必需的超洁净真空环境，完成物理和化学气相沉积、刻蚀、离子注入等超微加工。除了满足集成电路制程对真空环境的要求，作为气体传输设备，真空泵还能将工艺气体和反应生成的复杂气体或固体混合物从集成电路制造设备内抽离，保障工艺过程要求的动态平衡。

根据华经产业研究院的数据， 2021年全球半导体真空泵的市场规模为179.7亿元，预计2022年全球半导体真空泵市场将达到196.4亿元，同比增长9.3% ，其中半导体设备市场为147.3亿元，维修市场为49.1亿元。

海外厂商主导半导体真空泵市场。根据华经产业研究院的数据， 2021年全球半导体真空泵市场由海外厂商占据95%的市场份额，其中Atlas（2021年半导体真空泵收入约105亿元）占据48%的市场份额， Atlas在2014年收购了英国Edwards公司；德国Pfeiffer公司（2021年半导体真空产品收入约25亿元）占据12.74%的市场份额；国内厂商市场份额不到5% ，目前汉钟精机、中科仪等国产厂商已取得突破，未来有较大的国产替代空间。

2.2.4.阀：欧美日厂商统治市场， VAT占近半壁江山
半导体阀是由半导体器件和辅助设备组成的阀门，主要用于控制流体系统中流体的方向、压力和流量，在半导体制造过程中需要很多阀门和配件的解决方案。半导体阀主要分为真空阀、隔膜阀、波纹管阀、球阀、蝶阀、门阀、角阀、特氟龙阀门和其他，其中真空阀为主要的半导体阀类型。
-----------报告摘录结束更多内容请阅读报告原文-----------
报告合集专题一览 X 由【报告派】定期整理更新
科技 / 电子 / 半导体 /
人工智能 | Ai产业 | Ai芯片 | 智能家居 | 智能音箱 | 智能语音 | 智能家电 | 智能照明 | 智能马桶 | 智能终端 | 智能门锁 | 智能手机 | 可穿戴设备 |半导体 | 芯片产业 | 第三代半导体 | 蓝牙 | 晶圆 | 功率半导体 | 5G | GA射频 | IGBT | SIC GA | SIC GAN | 分立器件 | 化合物 | 晶圆 | 封装封测 | 显示器 | LED | OLED | LED封装 | LED芯片 | LED照明 | 柔性折叠屏 | 电子元器件 | 光电子 | 消费电子 | 电子FPC | 电路板 | 集成电路 | 元宇宙 | 区块链 | NFT数字藏品 | 虚拟货币 | 比特币 | 数字货币 | 资产管理 | 保险行业 | 保险科技 | 财产保险 |