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作为光刻机金字塔最顶尖的企业 , ASML的成立本身就是早期西方资本从东芝、索尼口中夺食并垄断全球光刻机、芯片市场的产物 。 尤其当老美扯下“科技无国界”的遮羞布 , ASML所扮演“棋子”的角色也愈发凸显 。 2018年中芯国际向ASML订购了一台EUV光刻机 , 因为受到禁令的限制 , 这台本应2019年就该到货的EUV光刻机至今没有交付 , 即便是二手渠道也被卡得死死的 。
不过资本追逐的永远都是利益 , 曾经无情吐槽中企“给你们全套图纸都造不出光刻机”的ASML , 这两年对我国半导体市场频献殷勤 , 不仅在国内设立了3个开发中心、15个办事处、11个仓储物流中心等 , 同时还为中国员工设立了“ASML中国日” , 还决定继续扩大中国团队 。
中企采购的光刻机已到货
即便老美升级芯片规则 , 将制造设备限制到14nm以阻止ASML DUV光刻机进入大陆市场 , 但ASML依旧态度坚定:不仅重申ASML是欧洲企业 , 还表态对华出货基本不受影响 。 重点在于 , ASML并非是煮烂的鸭子光嘴硬 , 面对升级的禁令 , ASML的身体也很坚挺!
据报道 , 我国另一晶圆厂上海鼎泰匠芯科技从ASML采购的光刻机已经到货 , 而且随着工厂的建成落地 , 据悉鼎泰匠芯已经开始导入用于生产12英寸车规级功率半导体晶圆制造中心项目 。 据悉该光刻机虽然不是EUV光刻机 , 但还属于中高端的DUV深紫外光刻机 。 在我国大力推进芯片国产化的背景下 , 中企能如愿收到ASML的DUV光刻机 , 无疑来得很及时!
ASML硬刚老美有什么目的?
小编认为 , ASML之所以义无反顾的对中企供货 , 其实ASML的日子并不好过 , 简直是腹背受敌!
首先 , 全球半导体下行 , 不少晶圆厂因订单不足开始削减成本 , 对光刻机的需求也逐步放缓 , 而我国芯片自给率又要在2025年提升到70% , 根据ASML公布的财报显示 , 大陆市场已经成为ASML的第三大重要市场 , 试问又有谁愿意放弃自己的“金主”呢 。 如今EUV光刻机无法进入大陆市场 , 我国已实现90nm精度光刻机的量产 , 如果ASML的DUV再无法对华出货 , ASML在全球最大的芯片市场将颗粒无收 。
其次 , 光刻机市场腹背受敌 , 第一个要说的就是来自美企的背刺 。 老美一方面通过技术专利限制ASML出货 , 另一方面不断从ASML挖高端人才补贴本地企业 , 美其名曰“盟友资源共享” , 倒不如说这是削弱ASML的竞争力 。 正是有了强将的加盟 , 镁光带来了自主研发的1β工艺 , Zyvex Labs公司通过电子束光刻技术带来了号称“全球分辨率最高的亚纳米分辨率光刻系统” ZyvexLitho1 , 成功绕开了ASML的光刻机 。
此外 , 佳能等日企也想夺回曾经属于自己的市场 , 比如佳能宣布了自己的NIL光刻机 , 不仅能生产5nm芯片 , 同时研发、运行成本还更低 。 重点是日本的企业一直有着一个优良传统 , 那就是垂直整合模式 , 技术自主、可控 , 不容易受到长臂管辖的约束 , ASML再不行动 , 未来的市场竞争只能更加激烈 。
最后 , 中国芯片产业的“换道超车” 。 虽然EUV光刻机无法进入大陆市场 , 但打造高性能芯片的方式并非这一种 , 而中企近些年为实现这一目的也在另辟蹊径 , 比如华为的芯片堆叠技术 , 通富微电的芯粒技术 , 先进封装工艺也是提升芯片性能的有效方式 。 而当传统工艺逼近物理极限 , 我国在光子芯片、超导量子芯片等前沿科技领域也取得了重大突破 , 尤其是2023年就将落地的光子芯片 , 不仅运算速度能达到传统芯片的1000倍 , 功耗也仅为此前的万分之一 , 重要的是对芯片工艺没有要求 , 国产90nm光刻机即可满足完全满足生产线的需求 。
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