目前中国大陆半导体领域对于电子特气的需求主要还是依赖于进口,国产电子特气厂商主要有华特气体、金宏气体、绿菱气体、凯美特气、三孚股份、和远气体、雅克科技、昊华科技、正帆科技、巨化股份等厂商,南大光电通过控股的飞源气体也有供应电子特气,整体国产化率不到15% 。
五、光刻胶:集成电路制造之纽带,光刻刻蚀衔接链
光刻胶是半导体制造光刻工艺的关键材料 。
光刻胶为利用光化学反应进行微细加工图形转移的媒体,由成膜剂、光敏剂、溶剂和添加剂等主要成分组成的对光敏感的感光材料,被广泛应用于光电信息产业的微细图形线路的加工制作,是微细加工技术的关键性材料 。
光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类 。
在光刻胶工艺过程中,涂层曝光、显影后,曝光部分被溶解,未曝光部分留下来,该涂层材料为正性光刻胶 。如果曝光部分被保留下来,而未曝光被溶解,该涂层材料为负性光刻胶 。
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光刻胶成分主要包括溶剂、光引发剂、成膜树脂和添加剂 。
其中溶剂主要起溶解作用,占比 50%-90%;光引发剂是核心部分,在特定光辐射能下回产生化学反应,占比 1%-6%;成膜树脂起粘合作用,占比 10%-40%;添加剂分为单体和助剂,主要对光化学反应和整体性能起调节作用,占比小于 1% 。
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光刻胶按照用途主要分为半导体用光刻胶、平板显示用光刻胶和 PCB 光刻胶三类 。自 1959 年被发明以来就应用于半导体产业,是半导体工业最核心的工艺材料之一;随后光刻胶被改进运用到印制电路板的制造工艺,成为 PCB 生产的重要材料;二十世纪 90 年代,光刻胶又被运用到平板显示的加工制作,对平板显示面板的大尺寸化、高精细化、彩色化起到了重要的推动作用 。
不同品类半导体用光刻胶应用于不同制程节点 。光刻胶根据对应波长,主要品类分为紫外光谱(300-450nm)、g-line(436nm)、i-line(365nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm)和 EUV(13.5nm) 。目前 g-line、i-line 广泛应用于 0.5um 以上和0.5-0.35um 制程,KrF 多应用于 0.25-0.13um,ArF 应用于 130-7nm,EUV 应用于7nm 及以下 。
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1、光刻胶市场规模稳定扩增,细分市场需求趋向于高端化
全球光刻胶市场与国内光刻胶市场稳定扩增 。
根据 reportlinker 数据,2019 年全球光刻胶市场规模为 82 亿美元,预计 2021 年市场规模约 92 亿美元,预计 2026年将达到 123 亿美元,2019-2026 年 CAGR 值为 5.9% 。
根据中商情报网数据,2017年中国光刻胶市场规模为 58.7 亿元,2021 年中国光刻胶市场规模为 93.3 亿元,预计 2022 年达到 98.7 亿元,2017-2022CAGR 值为 10.9%,保持稳定增长 。
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光刻胶细分市场中,KrF、ArF 市场占比最高 。截至 2021 年,KrF、ArF、ArFi 市场规模为 6.9 亿美元、1.96 亿美元和 7.59 亿美元,市场占比 34.7%、9.9%和 38.2%;g&i line 光刻胶市场 2.92 亿美元,市场占比 14.7%;EUV 光刻胶市场为 0.51 亿美元,市场占比 2.6%,KrF、ArF 光刻胶市场占比最高,覆盖了 250nm-7nm 的绝大部分制程 。
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