智东西内参|揭秘碳化硅,第三代半导体材料核心,应用七大领域,百亿市场空间 | 半导体

智东西内参|揭秘碳化硅,第三代半导体材料核心,应用七大领域,百亿市场空间 | 半导体
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碳化硅具备耐高压、耐高温、高频、抗辐射等优良电气特性,突破硅基半导体材料物理限制,是第三代半导体核心材料。 碳化硅材料主要可以制成碳化硅基氮化镓射频器件和碳化硅功率器件。受益于 5G 通信、国防军工、新能源汽车和新能源光伏等领域的发展,碳化硅需求增速可观。
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来源 中信建投
《市场空间巨大,SiC 国产化趋势加速》
作者: 马良
一、 性能突出,宽禁带半导体核心材料
第一代半导体主要有硅和锗,由于硅的自然储量大、制备工艺简单,硅成为制造半导体产品的主要原材料,广泛应用于集成电路等低压、低频、低功率场景。但是,第一代半导体材料难以满足高功率及高频器件需求。
砷化镓是第二代半导体材料的代表,较高的电子迁移率使其应用于光电子和微电子领域,是制作半导体发光二极管和通信器件的核心材料。但砷化镓材料的禁带宽度较小、击穿电场低且具有毒性,无法在高温、高频、高功率器件领域推广。
第三代半导体材料以碳化硅、氮化镓为代表,与前两代半导体材料相比最大的优势是较宽的禁带宽度,保证了其可击穿更高的电场强度,适合制备耐高压、高频的功率器件,是电动汽车、5G 基站、卫星等新兴领域的理想材料。
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三代半导体材料的指标参数对比
SiC 具有宽的禁带宽度、高击穿电场、高热传导率和高电子饱和速率的物理性能,使其有耐高温、耐高压、高频、大功率、抗辐射等优点,可降低下游产品能耗、减少终端体积。碳化硅的禁带宽度大约为 3.2eV,硅的宽带宽度为 1.12eV,大约为碳化硅禁带宽度的 1/3,这也就说明碳化硅的耐高压性能显著好于硅材料。
此外,碳化硅的热导率大幅高于其他材料,从 而使得碳化硅器件可在较高的温度下运行,其工作温度高达 600℃,而硅器件的极限温度仅为 300℃;另一方面,高热导率有助于器件快速降温,从而下游企业可简化器件终端的冷却系统,使得器件轻量化。根据 CREE 的数据,相同规格的碳化硅基 MOSFET 尺寸仅为硅基MOSFET 的 1/10。
同时,碳化硅具有较高的能量转换效率,且不会随着频率的提高而降低,碳化硅器件的工作频率可以达到硅基器件的 10 倍,相同规格的碳化硅基 MOSFET 总能量损耗仅为硅基 IGBT 的 30%。碳化硅材料将在高温、高频、高频领域逐步替代硅,在 5G 通信、航空航天、新能源汽车、智能电网领域发挥重要作用。
碳化硅产业链可分为三个环节:碳化硅衬底材料的制备、外延层的生长、器件制造以及下游应用市场,通常采用物理气相传输法(PVT 法)制备碳化硅单晶,再在衬底上使用化学气相沉积法(CVD 法)生成外延片,最后制成器件。在 SiC 器件的产业链中,主要价值量集中于上游碳化硅衬底(占比 50%左右)。
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碳化硅衬底的产业链
碳化硅衬底根据电阻率划分:半绝缘型碳化硅衬底:指电阻率高于 105Ω·cm 的碳化硅衬底,其主要用于制造氮化镓微波射频器件。微波射频器件是无线通讯领域的基础性零部件,中国大力发展 5G 技术推动碳化硅衬底需求释放。
导电型碳化硅衬底:指电阻率在 15~30mΩ·cm 的碳化硅衬底。由导电型碳化硅衬底生长出的碳化硅外延片可进一步制成功率器件,功率器件是电力电子变换装置核心器件,广泛应用于新能源汽车、光伏、智能电网、轨道交通等领域。汽车电动化趋势利好 SiC发展。