显示器|台积电将关停四台EUV？内幕来了 hkc|数码

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导读：9月6日摩根大通最新报告指出，台积电面临联发科、AMD、高通、英伟达等四大先进制程客户砍单，计划关闭四台极紫外光（EUV）光刻机以减少产出，月产能将锐减1.5万片。

图：最耗电的EUV光源部分
对此，市面上有两种传闻，一是台积电需为削减产能而停机，二是EUV耗电巨大产能利用率不高时干脆关掉省电费（运营成本）。
芯片大师曾报道日耗电百万度！“高攀不起”的EUV光刻机，台积电目前拥有全球最多的EUV光刻机，总数超过80台，均分布在中国台湾。实际上， EUV最耗电的部分在光源，以前的193nm波长DUV光源也耗电，但升级后的EUV光源波长仅13.5nm ，短波长的一次反射大约带来30%的损耗，实际照射到晶圆上的光通量只有2% ，因此需要超大功率的激光器来弥补。
【显示器|台积电将关停四台EUV？内幕来了】
图：台积电配套的发电厂但即便以单台EUV每天1MW的满载功耗计算，不计入其他设备的情况下开机一天的耗电量达192万度，且正常情况下保持365*24模式运行，理论上年耗电量超过7亿度，电费也仅为4.4亿元人民币。 2021年，台积电全年耗电量为170亿度，总营收为568.32亿美元。对比EUV采购单价、fab建造和人力成本，电费可以说是最低廉的部分之一，几台EUV省下的电费也实在不值一提！
很简单的道理：你会因为省电而关掉印钞机吗？

图：台积电园区
据某设备厂内部人士指出，台积电将旧的四台EUV光刻机关机，是为了将设备升级到3600D规格，升级后的单机生产量能（through put）可提升18％左右。专业人士称，像光刻机这类高精密度的半导体机台，就算市场景气不好、客户大幅砍订单，晶圆厂也很少会做出关机的动作。因为关机就跟停电一样，所有制程参数都要在重开机后重新再作调整，且无法预期可维持最佳良率。无计划的一次关机损失可能远远大于可能节省的成本。台积电表示，不评论市场传闻。针对机台设备皆有年度规划，并依循计划在不影响正常营运的前提下进行例行维护与升级。