光刻机|ASML为何不敢放肆？没有这家德国公司，它一台光刻机都造不出来( 三 ) 半导体

在接下来的几年里，他们继续对设计进行五次改进，在2015年，第一个全场uv光学系统star，list，310，被交付给ASML使用，star，list是一个多组件系统，由采集器光学元件和光圈照明光学元件，激进和投影光学元件组成，首先，来自紫外光源的光线打到收集器上，收集器收集后通过中焦的光圈，将光线投射到照明器上，照明器将光线均匀地散开，被均匀照亮的光线反射到包含冰片设计的矩形上，最后投射到晶圆上，3100开创了光学系统的先河，其核心机制后来进一步得到了完善，如star，list，3300，3400，今天，它成为了在七纳米，或更低的工艺节点中的一个关键部分。
【光刻机|ASML为何不敢放肆？没有这家德国公司，它一台光刻机都造不出来】卡尔-蔡司拥有许多其他部门，参与了许多事情，在这个视频中，我只关注半导体制造所涉及的方面，但其他方面的设想也非常值得研究，在2020年，半导体部门的收入为18亿欧元。，同比增长了12%，而集团其他部门由于大流行病的影响，收入有所下降，今天，它贡献了集团业务的30%，在德国工业中具有关键的战略意义，该集团独特的所有权结构，以一种不常见的方式将其与社区联系起来，作为与ASML一起的重要战略伙伴，该公司基本上是唯一的同类企业，日本的尼康和佳能是ASML最接近的竞争对手，为他们的光刻设备制造自己的光学系统，不过，显然如今还无法和蔡司相比。