光刻机|ASML为何不敢放肆?没有这家德国公司,它一台光刻机都造不出来( 二 )
德国统一后,蔡司珍娜发现自己陷入困境,他们与西方的兄弟有大量的重叠,但由于失去了关键的苏联军事市场,在经济上处于不利地位。,这是一个经济动荡的时代,东德的工业产出比前一年下降了51%,300万东德人将失去他们的工作,西德的公司为东德的公司提供最好的零件,两者又进行多年的谈判,东德的部分传统蔡司公司的业务和名字,如显微镜,医疗仪器等将被西德部分收购,剩余的一个6800名雇员的公司,改名为遗传学,经营半导体、激光光学和自动化,起初它面临着破产的危险,但后来政府出面购买了80%的资产,成功挽救了该公司。
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1998年,该公司进行了4亿美元的首次公开募股,至今表现良好。,今天,卡尔-蔡司仍然是一个庞大的公司,他们有四个部分,包括工业质量和研究医疗技术,消费市场和半导体制造,这些不同的部门为不同的行业提供光学系统,如消费眼镜,汽车,医疗手术和测量机斜面显微镜,卡尔-蔡司在研发上花了很多钱,2020年达到8.12亿欧元,占他们整个收入的13%。
在本视频的其余部分,我们将重点介绍他们的半导体制造部门的产品,卡尔-蔡司smt,世界上很大一部分微芯片,都是用人工智能技术制造的,该公司是卡尔-蔡司A,G公司的合资企业,它拥有多数股份,ASML自己拥有24.9%的股份,根据他们的年报,该公司的核心产品,是ASML制造的光刻扫描仪和步进器的核心光学器件,深紫外光刻技术使用193纳米,或248纳米范围内的紫外光线,该公司已经建立了近百年的深紫外成像系统,早在1874年,卡尔阿巴本人曾提出过显微镜使用紫外光的可能性,直到1899年,该公司才得以开发出适合紫外线显微镜的石英透镜。
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在1960年代,该公司开始利用其显微镜技术,来制造用于微型光刻的镜头,这是第一次出现这样的镜头,微型光刻技术要求在一个相对较大的空间内,非常严格地控制光线的扭曲,一个透镜是不够的,所以把多个较小的透镜组合在一起,创造出一个巨大的光学器件,看上去很有趣的凸起结构减少了场曲率,这是一个常见的光学问题。只在画面中的某个区域内,不可能同时都是清晰的焦点。
这在平版印刷中意味着,如果你试图在太大的区域内投射设计,场的曲率会因为不够清晰,在帧的区域内造成不准确,在整个19世纪80年代和19世纪,Ice从他们的显微镜工作中借用和混合新的技巧,以适应行业的变化,并提高他们能够投影到晶圆上的分辨率,然后在2000年,新兴光刻技术的发现,使得分辨率的提高取得了新的突破,以前的摄影技术在晶圆和步进器之间,有一个空气间隙,浸入式光刻技术用水取代了这一点,所以现在你是通过水向硅射出紫外光。
台湾科学家柏林首次提出,并验证了用于半导体的方法,该技术允许边界蚀刻小至四十纳米的结构,极端紫外线光刻技术是半导体制造的下一步,它是一项颠覆性技术,用于今天的尖端工艺,事实上,它使用的是一种全新的波长,需要对光学系统进行很多彻底的改变,关键问题是,所有可用的材料都能吸收高能量的紫外光。
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包括空气本身,紫外线不可能通过镜片,蔡司不得不制作一个,完全由多层镜面组成的光学系统,蔡氏在1995年启动了一个微型曝光工具,首次开始研究其紫外线光学系统,你可以把它看成是最终工具的缩小版,与加利福尼亚州的劳伦斯利弗莫尔国家实验室,和伯克利实验室合作,他们在2003年交付了第一个原型。
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