光刻机|光刻机设备安装卡尔蔡司镜头

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读了以下MIT科技评论的一些报道，提到EUV光刻机的安装交付中的体会。他的设备庞大，重要性可能大家有有所耳闻，很多人其实并没有亲眼见过实物，见过的处于设备保密的原因也很难真实呈现，所以这个设备大部分还是在行业内相对高端的圈子里面传播。

他这个设备类似于电梯项目交付，产品并不在自己工厂测试完毕后以一堆零部件形式飞往目的地，大约有41个标准箱大小，能装满四架飞机，整个机器有10万零部件，其中4万个都是螺钉，超过2公里以上的软管，总计3000条以上的连接电缆，甚至有一台白色的工业机器人，下部有个工业拖链，大约总计有800家重要供应商。

最开始的重要供应商是蔡司，如何打磨玻璃是蔡司在行业中将近150年的驾驭光的经验，总计有11块镜子组成的镜头模组，这些镜头的精度远远高于天文望远镜。使用离子束来消除瑕疵。激光源来自于cymer ，这是一家美国公司，和德国通快公司一起合作开发高频激光，频率上限为5万次，融化的锡金属温度高达50万度，印象中小岛有描述这个光源的级别是高于军舰上的激光配置的，要耗费巨额电量，这也是为什么晶圆加工非常费电和不能断电的原因之一。现在阿斯麦收购了蔡司大约25%的股份，全资收购了激光光源公司Cymer 。

【光刻机|光刻机设备安装】但凡是设备，总会有精度极限，目前不可获取的EUV设备也是一样，目前认为2nm附近可能就是其生产工艺极限，想在行业内继续领先需要研发新设备，下一代设备就不再用这个技术平台了，更新一代的平台将会把设备增加到地铁车厢大小，这非常有可能会低估设备实际完成后尺寸。