光刻机|ASML再遭重击,10nm先进工艺无需光刻机,为中国芯片指明新方向

光刻机|ASML再遭重击,10nm先进工艺无需光刻机,为中国芯片指明新方向

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光刻机|ASML再遭重击,10nm先进工艺无需光刻机,为中国芯片指明新方向

近日日本方面报道指东京理科大学已将NIL工艺已突破到10nm以下 , 这是全球首款无需光刻机的芯片制造工艺 , 代表着先进工艺的另一条路线 , 对于以光刻机为主业的ASML来说无疑是重大的打击 。

如今ASML在光刻机市场一家独大 , 占有光刻机市场超过六成的市场份额 , 还研发了全球最先进的EUV光刻机 , 而且用于2nm及更先进工艺的第二代EUV光刻机也即将研发成功 , 这一切都让ASML志得意满 。
然而10多年前的ASML曾相当落魄 , 当时它的在光刻机市场只有可怜的市场份额 , 甚至连生存都成为问题 , 后来不得不托庇在飞利浦之下 , 而飞利浦对它也不看重 , 仅是在办公楼旁边划了一块地搭个相当于棚子的地方给ASML办公就了事 , 可见当时ASML混得多么凄惨 。
不过就在ASML相当落魄的时候 , 台积电的技术高管林本坚研发出了浸润式光刻机技术 , ASML对此相当看重 , 于是两方一拍即合 , 共同研发浸润式光刻机 , 随后浸润式光刻机大行其道 , 而ASML也一举翻身 , 到2008年的时候ASML已成为光刻机的老大 。
后来ASML想出了与客户捆绑的方式 , 让三星、Intel和台积电等芯片制造企业入股 , 共同研发先进光刻机 , 由此ASML逐渐奠定了光刻机市场老大的地位 , 并称霸至今 , 让业界忽视了光刻机行业的其他企业 。

其实在ASML成为光刻机行业老大之前 , 光刻机的两强是日本的尼康和佳能 , 日本两大光刻机企业曾垄断光刻机市场多年 , 它们主推的是干式光刻机 , 依靠干式光刻机 , 尼康和佳能曾赚得盆满钵满 , 至于它们后来被ASML取代则是老土的商场故事 。
由于尼康和佳能在干式光刻机上赚取了丰厚的利润 , 它们当然希望继续延续干式光刻机 , 当台积电的林本坚发明了浸润式光刻机的时候 , 尼康和佳能不为了维持自己的市场地位 , 想方设法压制浸润式光刻机技术的发展 , 于是林本坚才找来当时相当落魄的ASML , 成就了ASML后来的王者地位 。
尼康和佳能虽然被ASML取代 , 但是它们在光刻机市场依然拥有一定的技术优势 , 由此它们也在光刻机市场继续生存了下来 , 如今尼康和佳能分别占有光刻机市场一成到两成的市场份额 。 日前有消息指尼康计划加大光刻机的技术研发 , 希望借助当前ASML无法自由出货之机进军中国市场 , 依托于中国这个全球最大的光刻机市场重振雄风 。
日本企业在光刻机市场衰落后 , 除了继续维持着光刻机产业之外 , 他们还尝试研发了无需光刻机的NIL技术 , 早是数年前NIL技术就已研发成功 , 并被日本的铠侠采用 , 目前已将NIL工艺用于生产15nm工艺的存储芯片 , 日本方面认为NIL工艺至少可以推进至5nm工艺 , 目前突破10nm工艺就是NIL工艺的进一步升级 。

日本在光刻机技术和NIL工艺技术方面的进展 , 对于中国芯片行业来说无疑是巨大的鼓舞 , 这将为中国的芯片制造提供新的选择 , 同时也为中国芯片行业研发无需光刻机的制造工艺指明了方向 。
【光刻机|ASML再遭重击,10nm先进工艺无需光刻机,为中国芯片指明新方向】一旦中国可以采购日本的光刻机 , 那么ASML在光刻机行业的垄断优势将被打破 , 毕竟如今佳能、尼康等的光刻机用于生产7nm及更落后的成熟工艺应该是没问题的 , 而NIL工艺对于ASML的光刻机事业来说更是毁灭性打击 , 一旦先进工艺无需光刻机生产芯片 , 那么ASML也就到了被终结的时候 , 或许此时的ASML已经瑟瑟发抖了吧?