光刻机|中企公开EUV光刻机专利,ASML还笑得出来吗

光刻机|中企公开EUV光刻机专利,ASML还笑得出来吗

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光刻机|中企公开EUV光刻机专利,ASML还笑得出来吗

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光刻机|中企公开EUV光刻机专利,ASML还笑得出来吗

吃过那么多次教训之后 , 我们已经深刻理解了倪光南院士所说的那句话:要把核心技术掌握在自己手里 。 现在 , 美从半导体全产业链出发 , 对我们进行围追堵截 , 试图将我们锁死在中低端制程 。 但是 , 我们不会放弃自主研发 , 打造我们自己的高端产业链 。

21世纪 , 数字化和人工智能是时代发展的重点 , 芯片作为底层核心零部件 , 起到“大厦之地基”的作用 。 如若我们的芯片无法自主 , 那地基将不稳 , 而地基不稳 , 大厦则易倾 。
芯片关于国家发展 , 干系重大 , 不可落入他人之手 。
芯片战来到白热化阶段
尽管我们深谙芯片的重要性 , 奈何时局不利 , 高达芯片产业 , 无论是材料 , 设计还是制造 , 封装 , 核心技术多为外企掌握 。 其中以美企为代表 , 一张大网正在编织之中 , 欲将我们芯片企业笼罩其中 。

美顾忌芯片供应链离不开我们的生产线 , 并且世界顶级半导体企业 , 诸如三星、台积电之流在大陆建厂 , 依赖国内市场的同时 , 也依赖国内的产能 。 所以 , 美制定新计划 , 推行《芯片法案》 , 打造四方联盟 。
一旦美将全球高端半导体产业链转移到美洲大陆 , 其最后的顾忌也将不复存在 。 到那个时候 , 我们就会陷入前所未有的黑暗之中 。 而此刻 , 我们就要拼一把 , 既拼美的计划实行起来困难重重 , 也拼我们有毅力 , 制度有优势 , 能跑得过时间 。
一场极其重要 , 也可能极其惨烈的芯片战 , 已经来到了白热化的阶段 。
中企公开EUV光刻机专利
芯片之争 , 最关键之处 , 无疑是EUV光刻机 。 最为高端芯片制程的核心设备 , 世界上只有ASML这么一家集聚了西方世界顶尖科学技术的企业 , 能够生产EUV光刻机 。

美利用自己的影响力 , 对ASML颐指气使 , 便掌控了高端芯片产业的门槛 , 任何想要进去的人 , 都要先问过美同不同意 。 而答案 , 当然也早已注定 。
而我们 , 要打造自己的门槛 , 生产自己的EUV光刻机 。 这个想法被一开始ASML CEO温宁克狠狠地嘲笑:就算给图纸都造不出来 。
但是让他没想到的是 , 我们不仅敢想 , 还敢做 , 并且为此投入了大量的资源 。 眼看着一项项EUV光刻机技术被我们突破 , ASML也有些着急了 。
最近 , 中企更是再一次实现突破 。 传芯半导体公开了新的EUV光刻机专利:曝光成像结构、反射式光掩模版组及投影式光刻机 。 据介绍 , 该专利应用于EUV光刻 , 并且可以提高光刻机的分辨率和对比度 , 简化光刻工艺 。

事实上 , EUV光刻机的三大重要核心系统:双工作台、光源、光学镜头 , 我们已经实现了不小的突破 , 许多技术已经进入了测试阶段 。
ASML笑不出来了
我们的研发速度如此之快 , 也是让ASML笑不出来了 。 因为就算我们和美拼得两败俱伤 , ASML也不会是赢家 。 只要我们离自主EUV光刻机越近 , ASML的未来就会多蒙上一层阴影 。
正因如此 , ASML开始想法设法阻碍动摇我们研发的决心 , 比如说向我们倾销DUV光刻机 。 这个套路我们太熟悉了 , 每次当我们研发某项技术和产品快成功的时候 , 他们就会低价出货 , 搞垮我们的科技企业 。

再比如说时不时对外声称“很快就能拿到EUV光刻机供货许可” , 想让我们放弃研发 。 但我们也不是傻子 , 有美在后面当推手 , 有你ASML说上话的机会吗?