张汝京|张汝京传来消息,再次领衔中国半导体,启动芯片光罩新项目

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张汝京 , 一个值得被中国芯片发展历史铭记的人 , 曾创建中芯国际 , 带领中国半导体走上正轨 。 在多个创业项目中把发展中国芯片放在了首要位置 。
已经74岁的张汝京没有停止步伐 , 再次领衔中国半导体 , 领衔总投资30亿元的芯片光罩新项目 。 这是怎样的项目规划呢?光罩在芯片产业链中扮演怎样的重要角色?

张汝京再次行动 , 布局光罩材料芯片是一项复杂的产业领域 , 需要涉及各种软件系统 , 硬件设施等等 。 可能一项芯片制造工序就得用上好几种半导体设备同时工作 , 比如芯片在光刻过程中 , 至少需要光刻机、刻蚀机、光刻胶等设备 , 材料一起协同 。
芯片光刻的原理可以解释为用光刻机把芯片线路曝光在涂有光刻胶材料的晶圆上 , 利用光刻胶表面上光敏材料 , 把芯片电路图进行显现 , 然后刻蚀机沿着显影的图形完成复刻 。

但是仅仅是这样是不够 , 光刻机只能进行类似照相机的曝光工序 , 怎样让芯片线路图进行显影 , 就需要用上光罩了 , 所谓的光罩也就是光掩膜版 。
如果没有光罩的支持 , 那么在芯片制造过程中 , 光刻胶表面是无法进行显影的 。 用通俗的话来说 , 光刻机就像是照相机 , 刻蚀机是复印机 , 那么光罩就是投影机 , 这些设备和材料共同协作 , 才能完成整个的光刻工艺 。

而面向光罩领域 , 张汝京传来消息 , 再次领衔中国半导体 , 启动了芯片光罩新项目 。
在浙江嘉兴科技城 , 举办了光罩产业链项目签约仪式 , 张汝京担任该项目的领衔人 。 另外 , 这个光罩项目初期投资为11亿元 , 总投资额高达30亿元 , 项目主导的公司是立恩半导体科技 。

工厂项目建成之后 , 会进行光罩材料的产品研发 , 产品主要包括镀膜基板 , 保护膜等等 , 深度聚焦光罩产业链上下游的原材料布局 。
了解了光罩的重要性 , 再看这个张汝京领衔的项目 , 会发现光罩在芯片产业链中扮演的角色至关重要 , 在芯片制造前端的工艺领域内 , 和光刻机 , 刻蚀机几乎是同样的地位 。
当然 , 光罩也有强弱之分 , 应用于高端领域的EUV光罩核心技术掌握在日本企业手中 。 日本一家名为Lasertec Corp的公司 , 是全球唯一能生产EUV光罩检测设备的厂商 , ASML生产EUV光刻机也需要这家企业的支持 。

如果没有Lasertec Corp的技术供应 , 便无法顺利造出EUV光刻机 , 也就没有高端芯片制造的事情了 。 当然 , 国产距离打破Lasertec Corp垄断还有一段路要走 , 但在成熟工艺制程范围内 , 聚焦可控的技术也有一定的意义 。
张汝京的“中国芯”值得关注的除了立恩半导体的光罩产业链项目 , 张汝京出席签约现场 , 并担任领衔人 , 同样值得重视 。
可能有些人对张汝京不了解 , 但是可以这么说 , 如果没有张汝京 , 就没有今天的中国半导体 。 说起张汝京和中国半导体的故事 , 可以分为两个阶段 , 以2000年划分张汝京逐梦“中国芯”的历程 。