刻蚀机|台积电赴美建厂，也离不开中国设备，国产刻蚀机卡住5nm工艺？台积电|光刻机

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台积电在美国如期推进5nm工厂的建设，此前有消息称台积电需要推迟建厂，因为劳动力紧缺，有关设备得等到2023年初才能安装。但根据媒体消息，台积电会在下半年接收来自中国的5nm刻蚀机设备。

整体来看，国产刻蚀机处于什么水平呢？能卡住美国5nm工厂吗？

台积电美国工厂需购置中国刻蚀机一条芯片生产线需要用上很多半导体设备，光刻机只是其中之一，同时刻蚀机也需要和光刻机紧密联动，才能完成关键的芯片制造步骤。
对这些设备有了解的人都知道，光刻机是对晶圆进行曝光，把芯片线路复刻下来，然后用刻蚀机把每一条芯片线路进行雕刻。

不管是光刻机还是刻蚀机，能应用于5nm高端生产线的产品，都位列世界顶尖。
台积电在美国修建5nm工厂，需要购置不少的半导体设备。台积电作为ASML的大股东，大客户，从ASML手中采购EUV光刻机是肯定没有问题的。
到时候只需要从荷兰运输EUV光刻机至美国，就能准备入厂了。除此之外，台积电美国工厂也需要购置中国的刻蚀机，且制程也必须是5nm 。
目前中国刻蚀机厂商当中，只有中微公司能生产。所以到时候向台积电美国工厂供货5nm刻蚀机的也会是中微公司。

国产刻蚀机的水平纵观全球半导体设备市场，很少有企业达到ASML的水平地位。因为光刻机的研发难度大，生产成本高，一台EUV光刻机就有10万个零部件。
目前国产光刻机还有需要进步的地方，大部分的光刻机需求主要靠进口。但是在刻蚀机方面，基本上可以由国内供应商实现自主供应。
目前中国具有代表性的刻蚀机厂商分别是上海的中微公司和北京的北方华创，二者在刻蚀机领域都有很深的积累。剖析这两家公司，就能知道国产刻蚀机的水平了。

首先中微公司已有18年的发展时间了，创始人尹志尧是半导体设备行业的顶尖人物，曾在英特尔，美国应用材料公司任职过。回到祖国后在2004年创建了中微公司，历经刻苦研发，终于在2017年攻克了7nm制程的等离子体刻蚀机。
到了2019年，制程进一步攻克到了5nm 。直至今日，中微5nm刻蚀机被应用于台积电，中芯国际等国际一流的芯片制造商生产线，成为高端芯片产业链的重要玩家。

而在市场份额方面，根据数据统计，中微公司以14.65%的市场份额位居世界第二，仅次于Lam Research 。
不管是技术还是市场份额，中微公司均排在世界领先，中国第一。
而相对来说，北方华创则处在成熟制程领域。北方华创提供丰富的半导体设备供应，在刻蚀机领域，拥有硅刻蚀机和金属刻蚀机。目前北方华创可参与14nm制程生产线刻蚀机供应，是国产成熟制程半导体领域重要的供应商。

综上所述，国产刻蚀机不论是在成熟还是高端制程领域，都有相应的供应商满足市场需求。随着芯片制造业的持续发展，国内对集成电路制造产能，技术等等提出了更高的要求。