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国内正在加速半导体产业的步伐 , 甚至在EUV光刻机领域也有布局 。 不过面向顶级的EUV极紫外光刻机技术 , 国外巨头却有不一样的表态 。 ASML称中国不太可能造出顶级光刻机 , 但也别那么绝对 。
而日本光刻胶巨头JSR也表态了 , 表示中国难以掌握EUV技术 。 这些国外厂商的表态和实际情况有怎样的区别呢?若真如对方所说 , 又该如何破局呢?
EUV光刻机的全球化中国半导体产业链已经迈入了新的阶段 , 正在积累更多的人才 , 产业链和生态系统等等一系列的环节储备 。
而带来的进步和突破也是显著可见的 , 如上海微电子实现3D/2.5D封装光刻机的出货 , 国望光学加速曝光系统生产基地的建设等等 , 另外中科院也在招募与EUV研究有关的人才推进研究 。
很多人都对EUV光刻机的生产制造难度 , 产业链条件等进行科普 。
包括中国院士吴汉明也直言 , 单独让一个国家 , 地区独立造EUV光刻机是不现实的 , 因为会用上十万个零部件 , 超过5000家供应商 。 同时各国的技术占比多少 , 最后吴汉明院士总结EUV光刻机是全球化的结晶 。
从产业链的角度来看 , EUV光刻机的确离不开全球化的支持 , 若没有各国顶级技术的供应 , ASML哪怕知道原理 , 明白各个生产制造流程 , 也未必能造出EUV光刻机 。
就好比一位大厨 , 可以做出美味的菜肴 , 可是没有锅碗瓢盆 , 调味品等必要工具 , 也是束手无策 。 让这位大厨同时具备制造这些工具的方法 , 显然没那么容易 。 同样的道理 , EUV光刻机集成全球顶级科技 。
ASML , JSR的接连表态而现如今国产半导体产业链的布局越来越深入 , 甚至隐隐朝着EUV极紫外光技术靠拢 , 这也引起了国外巨头不一样的表态 。
首先ASML首席执行官温彼得表示 , 中国不太可能造出顶尖光刻机 。 或许是对自己的话没有那么自信 , 温彼得还强调“但也别那么绝对 , 物理定律在中国同样有效 。 ”
ASML作为全球唯一掌握EUV光刻机制造技术的厂商 , 说出这句话便迅速引起了业内的话题讨论 。 但是在ASML之后 , 日本光刻胶巨头JSR也表态了 。
据JSR首席执行官埃里克约翰逊表示 , 虽然中国在推进芯片自给自足 , 但缺乏基础设施 , 难以掌握EUV光刻的复杂芯片制造技术 。
在日本垄断全球光刻胶市场的队列当中 , JSR是其中一员 。 该公司不仅掌握EUV光刻胶的技术实力 , 而且在ArF光刻胶市场份额中占据世界第一 。
ASML , SJR的表态和实际情况的区别和ASML一样 , SJR也做出了类似的表态 。 二者在各自的EUV光刻机 , 光刻胶领域内都有绝对的影响力 。 那么关于二者的表态 , 和实际情况有怎样的区别呢?或者说是否言之凿凿还是空中楼阁 。
要想弄清楚这一点 , 就需要明白国产半导体产业具备怎样的产业链技术积累 。
抛开主观因素 , 仅从现有的产业链发展情况来看 , 可以用“大而不强”来形容 。
“大”是因为有丰富的产业链支持 , 不管是光刻胶还是光刻机 , 并且细分到光学系统、物镜系统、双工件台、控制系统这些光刻机四大件 , 都有相应的国产厂商参与布局 。
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