光刻机|国产光刻机好消息,这相当于确认了!

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光刻机|国产光刻机好消息,这相当于确认了!

近些年来 , 光刻机一直牵动着国人的心 , 现在 , 我们的国产光刻机又传来了新的消息 , 而且是好消息 。
众所周知 , 要想制造工艺更先进的芯片 , 就需要更先进的光刻机 , 目前光刻机领域的高端机型分为两种 , 分别是ARFi和EUV 。
ARFi光刻机叫作浸润型深紫外光刻机 , EUV光刻机为极紫外光刻机 。

这两者的最大不同点 , 在于光源的波长 , 前者波长为193纳米 , 经过超净水的折射 , 等效为134纳米 。 而EUV光刻机的光源波长为13.5纳米 。

一款光刻机的分辨率数值越小 , 代表着可以制造的芯片工艺越先进 , 要保证分辨率数值更小 , 需要从两个方面努力 , 分别是增大透镜的数值孔径和减小光源的波长 。
所以我们看到 , 当需要制造7纳米以下工艺的芯片时 , 就需要EUV光刻机了 。


目前我们国产的光刻机还是ARFi型 , 但是分辨率还没有做到该类型光刻机的最优 。
不过ARFi光刻机有一个分水岭 , 那就是28纳米 。
因为ARFi光刻机的最小分辨率数值只能做到38纳米 , 如果大家感兴趣 , 可以自行在ASML的官网查询 , 会发现ASML的ARFi光刻机就是只能做到38纳米 , 尼康也是如此 。

看到这里是不是有点觉得难以理解 , 这就是说为何28纳米是一个关键点的原因 。
因为如果光刻机可以支持28纳米 , 就意味着已经做到了38纳米分辨率这个极限 , 也就意味着 , 透镜这个光学系统做到了最优 , 也就是1.35的数值孔径 。
而透镜光学系统的解决 , 就意味着解决了ARFi光刻机的最大屏障 。

后续的芯片制造工艺 , 通过采用一些制造方法就可以解决 , 例如多重图形、双重曝光等技术 。
这就是说 , 跨越28纳米 , 后面一直进入到7纳米都将长驱直入 , 下一个要解决的痛点就是EUV光刻机了 。
好 , 该到我们的主角登场了 。

相信有的朋友还记得国望光学 , 就在两个月前 , 笔者就曾发文 , 国望光学的超净室工程已经开标 , 当时国望光学方面就表示 , 该生产基地将量产过个工艺的光学曝光系统 , 其中就包括28纳米 。
而现在该生产基地又有了新的进展 , 国望光学已经发出设备招标公告 , 这就意味着 , 该生产基地开始进入设备导入阶段 。
熟悉半导体领域制造产业的朋友知道 , 设备导入阶段 , 就标志着产品量产即将到来 。 这是一个关键性的节点 , 所以备受关注 。

例如台积电在美国的工厂 , 因为迟迟无法招聘到符合要求的工人 , 因此将设备导入延期了半年 , 这应该是近期发生的最好的证明案例 。
因此国望光学此次设备招标 , 就相当于确认其生产基地将很快投入运行 , 也相当于确认其基建阶段和超净室阶段已经完成或者进入尾声 。

所以对于国望光学的28纳米光学透镜系统 , 我们已经可以开始期待 , 一旦产品交付 , 那么就意味着国产光刻机再次上了一个台阶 。

然而28纳米光刻机的意义还不止如此 , 大家应该也注意到了 , 近年来 , 各大芯片厂都在积极扩产和建设新厂 , 其中28纳米就是扩建的主角 。