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当芯片的制造工艺进入到7纳米或者5纳米时 , 就需要EUV光刻机上场 , 到不是因为DUV光刻机无法完成制造任务 , 主要是考虑到商业成本 , EUV光刻机是一个更好的选择 。
所以从商业量产的角度来看 , EUV光刻机是必要的 , 但是大家也了解 , 在EUV光刻机上 , 目前只有ASML一家可以提供 , 但是受到美科技霸权的制约 , 其无法对我们进行交货 。
不过之前中科院方面就已经表示 , 要对卡脖子的光刻机问题进行解决 , 很显然 , 这是直指EUV光刻机 。
对光刻机有所了解的朋友会知道 , EUV光刻机与DUV光刻机的明显区别 , 就是光源的不同 , 一个是极紫外光源 , 另一个是深紫外光源 。
所以对于EUV光刻机的研发来说 , 光源是最为重要 , 也是最为艰难的部分 。
而现在 , 我们就看到了这方面的新动态 。
根据中科院官方发布的信息来看 , 其在EUV光刻机方面开始进行多层次的招聘工作 , 这涉及到多个岗位 , 分别是:
热结构设计师 , 负责EUV光源项目的热结构及真空等设计研发工作
激光与物质相互作用研究 , 负责EUV光源相关物理实验和理论研究 。
【光刻机|EUV光刻机,中科院官宣,这相当于确认了】EUV光源自控系统设计 。
EUV光机结构设计 。
EUV光学设计、建模、模拟仿真、集成系统或设备的EUV光学模块以及光学性能鉴定和故障排除 。
可以看到 , 在EUV光刻机的光源部分 , 中科院已经将其进行了细致的分解 , 然而这只是普通员工的工作 , 在EUV光刻机上 , 还有特别研究助理的工作 , 而且全部要求博士后 , 其中包括:
极紫外到X光波段光源的研究 。
光刻机EUV光源产生理论和实验研究 。
EUV极紫外光源元件超精密制造与检测技术 。
因此综合来看 , 中科院在EUV光刻机的关键部分 , 也就是EUV光源上的研发 , 相当于已经确认进入了实质阶段 。
这当中包含了两层含义:
其一 , 此次中科院公布了如此详细的用人计划和标准 , 这显然表示中科院已经在该方面展开了研发工作 , 确定了研发的方向和标准 , 不是一拍脑袋一片空白 , 空喊研发口号 。
其二 , 此次的用人计划 , 在用人规模上并不大 , 这些岗位都是只有1到2个人的需求 , 大部分岗位只有1个人的需求 , 因此这表示 , 针对EUV光刻机光源的研发 , 此次从社会面招聘 , 只是人才的补充 。
因为在关键的EUV光源产生研究、光源加速器研究以及超精密元件研究等方面 , 都有相关研究员在进行 , 新进员工只是特别研究助理 , 而且还是博士后级别 。
我们还关注到 , 此次对于EUV光源的产生研究上 , 其实也包括对波长更短的X光波的研究 , 也就是说 , 中科院已经在布局EUV光刻机的下一代技术 。
因此结合来看 , 在EUV光刻机最艰难的EUV光源上 , 中科院已经进行了系统而全面的拆解 , 并形成研发任务和方向 , 而且相关项目已经分配到人 。
现在来看 , 增加相关项目的人员数量 , 就是一次对各个细分项目的全面展开 , 这也再次说明了 , 在EUV光刻机的研发上 , 中科院已经进入实质阶段 , 不是计划阶段 , 也不是方案阶段 , 更不是PPT阶段 , 是实实在在的“破局”阶段了 。
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