苹果|反对也没用!光刻机新规定来了,ASML将彻底无缘中国市场?( 二 )


根据相关资料来看 , ASML公司几乎占据了整个高端光刻机市场90%以上的份额 , 同时也是全球唯一一家能够提供7纳米以下EUV光刻机的公司 , 并且ASML的光刻机还在不停的进化 , 未来将可以生产更高制程工艺的光刻机 , 也只有全靠ASML了 。

而根据此前ASML公司发布的2021年全年营收数据来看 , 去年全年营收在186.11亿欧元 , 其中同比增长了35%左右 , 其中卖光刻机赚的营收差不多在136.53亿欧元左右 , 占据了几乎80%以上 , 其中总共销售了287台光刻机系统 。 如果具体到相关台数的话 , EUV光刻机卖出了42台 , 总价值为63亿欧元 , 销售占比高达46% , 而不那么先进的AfFi和ArF光刻机系统加起来卖了212台 , 同样也是占据了销售的46% 。
在这些光刻机的最终买家来看 , 来自中国大陆的占比是非常高的 , 拥有34%的销售占比 , 而像美国和日本只有6%和7%左右 , 足以看出中国市场对于ASML的重要性 , 如果ASML失去中国大陆市场的话 , 还会引发一系列的连锁反应 , 比如客户恐慌等等 , 在营收数据上可能会几乎“腰斩” 。

不管从什么方面来看 , 中国大陆市场对于ASML都非常的重要 , 即便是在整个行业受到了缺芯以及疫情反复的情况影响 , 中国整个芯片市场依然是逆势增长 。 而对于大力发展芯片行业的中国市场 , 先进的光刻机绝对是很多半导体企业的刚需 , 一旦提高芯片制造的产能 , 还会进一步刺激中国芯片产业继续扩大产能 , 中国市场对于AMSL的重要性会进一步加强 。
其实对于ASML来说 , 他们也非常了解中国市场对于公司的份量 , ASML的公司高管其实不止一次的对外公开表示 , 中国是ASML的最好合作伙伴 , 中国市场对于ASML来说也非常重要 , 但是市场规则被老美修改之后 , 其实ASML也确实无能为力 。 并且ASML高管曾经不止一次的警告过老美 , 如果再继续全面封锁和打压的话 , 只能加速中国的自主研发道路 , 甚至还有可能会唤醒其他国家的独立意识 , 到时候吃亏的恐怕就不只是ASML了 。
其实 , 在国内的话 , 我们也在光刻机产品进行了发力 , 虽说EUV光刻机还是只有ASML可以独家生产 , 但是对于整个芯片行业来说 , EUV光刻机确实是只占了很小的一部分 , 事实上 , 即便是5纳米这样的先进工艺 , 都不是全部需要EUV光刻机进行生产 , 只是很小一部分只需要EUV光刻机 , 大部分都是使用的DUV光刻机完成的 。 所以 , 不管是EUV还是DUV光刻机都是非常重要的 , 即便是有DUV光刻机相关的产业得到了突破 , 都是非常振奋人心的 。
而目前的DUV光刻机又分为好几个种类 , 主要为KRF、ARF和ARFi几个类型 , 其中比较先进的就是ARFi光刻机 , 也就是所谓的浸润型光刻机 , 等效波长能够达到134纳米 , 而ARF和KRF光刻机的波长则分别是193纳米以及248纳米 , 波长越短越先进 , 换句话说 , ARFi光刻机是DUV光刻机中最先进的 , 能够掌握ARFi光刻机的话 , 就是目前DUV光刻机的全部技术 。

如果想要突破最先进的DUV光刻机 , 从名字上我们就能看出 , 难点是在于浸润的技术 , 这也是我们国产光刻机为什么长时间不能突破28纳米的最关键原因之一 。 不过 , 最近我们国内的相关企业奇尔机电 , 在光刻机浸润技术方面得到了相关的突破 , 在高端集成半导体产业上 , 也成功迭代到了第八代 , 实现了浸润时对于液体的高精度控制 , 可以控制到0.001度的误差 , 可谓是相当不容易 。
并且相关的光刻机研发实验基地 , 也开启了中期的测试以及试产 , 换句话说就是现在DUV光刻机的研制以及基本不成问题 , 未来着重解决的就是良率和生产率的问题 。 再加上前段时间国望光学在光刻机曝光系统以及镜头提供上 , 做出的技术突破 , 可以说在浸润型光刻机上的主要技术难点 , 都已经被基本突破了 。