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今年还有一个因素信越本身是对国内的fab厂减少光刻胶供应 。 此前据外媒报道 , 由于没扩产跟不上供给 , 日本信越已经向中国大陆多家晶圆厂限制供货KrF光刻胶 , 信越把除了中芯 , 华虹之外 , 其他fab比如创新中心 , 京城 , 燕东 , 芯恩 , 集电的订单都砍了 , 甚至中芯交付都有些困难 。 信越已经答应台湾客户今年会在台湾扩产 , 但是仅供台湾客户 。
半导体材料日本全球独大 , 我国国产替代任重道远 。 主要是我们起步晚 , 好多材料技术要求高 , 而且非常昂贵 , 一般厂商没有动力冒险使用小生产商的产品 。 国产材料缺乏验证资源 , 因为这相当于客户被迫分担成本了 。
与生产芯片另一种关键材料——硅片占据芯片成本的40%相比 , 光刻胶只占5% 。 但光刻胶作在很大程度上决定了芯片的集成度 。
光刻胶与光刻机一样 , 按照光源分为 G-line 波长436 , i-line波长365nm , KrF波长248nm , ArF 波长193nm , EUV波长13.5nm 。 不同制程所用的光刻胶也不同 。
g/i线光刻胶:彤程新材和晶瑞电材可以量产 , 上海新阳正在研发 。
KrF光刻胶:只有彤程新材可以量产 , 上海新阳已经通过客户验证 , 晶瑞电材正在客户验证 。
ArF光刻胶:只有南大光电通过客户验证 , 其它正在研发 , 或者验证阶段 。
【直播带货|国产光刻胶任重道远】EUV光刻胶:只有彤程新材在研发 , 且已经通过02专项验收 。
彤程新材是全球领先的酚醛树脂供应商 , 光刻胶是酚醛树脂的高端运用领域 。 公司与2021 年收购北京科华, 北京科华是唯一被SEMI列入全球光刻胶八强的中国光刻胶公司 。 是目前国内唯一可以批量供应 KrF 光刻胶给本土8 寸和 12 寸的晶圆厂客户的企业 。
2009年 , 北京科华建成了我国首条G/I线光刻胶生产线 , 目前仍是北京科华的营收主力 , 在国内市场占20%份额 。
科华在2012年建成了国内首条KrF光刻胶产线 , 供给本土8寸和12寸的晶圆客户 。 直到2021年才由于福岛地震 , 实现了初步的批量进口替代 , 是唯一可以批量供应KrF光刻胶给8寸和12寸客户的本土光刻胶公司 , 但其KrF光刻胶在市场上的份额仍不足5% 。 北京科华的客户包括中芯国际、华力微电子、长江存储等 。 目前 , 北京科华有i线光刻胶500吨/年、KrF光刻胶10吨/年的产能 。
2018年 , 由中国科学院化学研究所、中国科学院理化技术研究所、北京科华微电子材料有限公司联合承担的 , “极紫外光刻胶材料与实验室检测技术研究”通过验收 。
彤程新材在上海建设年产1千吨半导体光刻胶、1万吨平板显示用光刻胶、2万吨配套试剂的生产线 , 预计2022年内开始分批投产 。 ArF高端光刻胶研发平台 , 预计2023年末建成 。
旗下北京科华光刻胶获得长江存储、中芯北方、华虹 半导体、上海集成电路研发中心、合肥长鑫、芯恩(青岛)、广州粤芯、厦门士兰集科等用户订单 。 北京北旭显示面板用光刻胶在京东方占有率达 45%以上 。 并覆盖 TFT-LCD 面板所有层 , 预计 2021 年全年出货将超过 3000 吨 。
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