光刻胶|日本光刻巨头：中国企业想掌握EUV芯技术难度很大半导体

【光刻胶|日本光刻巨头：中国企业想掌握EUV芯技术难度很大】

5月23日消息，据报道，近日日本光刻胶巨头JSR的首席执行官埃里克约翰逊（Eric Johnson）在接受采访时表示，尽管中国在努力推动芯片的自给自足，但中国半导体产业必要的基础设施不足，比如很难掌握基于极紫外（EUV）光刻的复杂芯片制造技术，发展先进制程的芯片制造技术将非常困难。

约翰逊指出， “我认为中国也非常想发展自己的EUV（极紫外光刻）能力和相关的生态系统（比如EUV光刻胶）。但坦率地说，我认为他们要做到这一点非常困难。 ”
实际上，荷兰光刻机巨头阿斯麦（ASML）CEO温彼得也在今年1月表达过和约翰逊类似的观点，认为“中国不太可能复制出顶尖的EUV光刻机” 。但他当时补充称，永远别那么绝对，中国的物理定律和全世界是一样的， “他们肯定会尝试” 。
另外，对于中国在光刻胶领域的追赶，以及希望在高端光刻胶技术上的突破，约翰逊认为，即便中国获得相关化学成分的确切资料，但在纯度、精度及制造上都非常困难，且中国也没有供应链支持。但中国当前积极投资成熟的芯片技术，也是不容忽视的一部分， “人们还没充分意识到，中国有多少机会可以不依赖这些先进制程。 ”
资料显示， JSR公司成立于1957年，中文名为日本合成橡胶，是全球主要的光刻胶供应商之一。在应用方面，光刻胶是半导体、液晶面板（LCD）、印刷电路板（PCB）等产业的重要原材料。
在半导体领域，目前光刻机曝光光源一共有六种，分别是紫外全谱（300～450nm）、 G 线（436nm）、 I 线（365nm）、深紫外（DUV ，包括 248nm 和 193nm）和极紫外（EUV），相对应于各曝光波长的光刻胶也应运而生，对应分别为， G 线光刻胶、I 线光刻胶、KrF光刻胶、 ArF光刻胶、EUV光刻胶。
目前，在全球半导体光刻胶领域，主要被日本合成橡胶（JSR）、东京应化（TOK）、美国杜邦、日本信越化学、富士电子、罗门哈斯等头部厂商所垄断，其中JSR占据了28%的市场。
而在高端半导体光刻胶市场上， JSR在ArF光刻胶领域以24%的市场份额位居全球第一。在EUV光刻胶方面， TOK和JSR有较高的份额。
从国内的光刻胶市场来看，低端的中g线/i线光刻胶自给率约为20% ， KrF光刻胶自给率不足5% ，而高端的ArF光刻胶完全依赖进口，是国内半导体的卡脖子技术之一。
至于EUV光刻胶，由于美国的阻挠，大陆目前无法进口EUV光刻机，因此国产EUV光刻胶的开发自然也无从谈起。