阿斯麦尔|东方晶源交付8英寸量测设备！喊话ASML：纯自主研发！芯片|光刻机|半导体

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东方晶源交付8英寸量测设备！喊话ASML：纯自主研发！
一提起芯片，就会联想到IC设计、芯片代工和制造芯片的制作设备，在目前全球芯片领域加快投资的形势下，华为、台积电、英特尔、AMD、三星、英伟达还有ASML都成为大家耳熟能详的巨头厂商。
尤其是ASML目前掌握着全球芯片的制作进度和间接的产能的决定者。因为ASML提供了全球60％以上的中低端的光刻机设备，提供了全球100%的7nm以下的先进制程的EUV光刻机。

尽管目前也有很多其他的厂商正在研发不同的技术来突破光刻机的限制，但是目前为止，都还在成熟工艺或者先进工艺的实验阶段，目前暂时看起来， ASML在未来的两年内还是唯一可以提供芯片制作设备的厂商。

同样，在中国，各大设备厂商和芯片厂商也加大了对半导体设备的研究，近日，我国在光刻机的领域传来了好的消息：东方晶源交付8英寸量测设备。
东方晶源交付8英寸量测设备
一台光刻机中大概有十万个精密的零配件，而电子测量检测系统是其中非常重要的环节。电子测量检测系统在提高芯片的良品率方面有重要的作用。我国的东方晶源就是这方面的专业的厂商。

最新的信息现实，东方晶源在2021年6月成功地研发了12英寸的CD-SEM缺陷检测设备，近日，东方晶源再次成功研发了首台8英寸的CD-SEM设备，而且已经交付给企业进入使用。客户包括燕东微电和中芯国际。

ASML产生了危机感
针对东方晶源交付检测设备的消息， ASML产生了危机感。近日， ASML对外界表示称东方晶源侵犯了ASML的专利技术。面对ASML的指责，东方晶源发表了一份声明，表示所有的技术都是自主研发，并且将追求任何不实消息和造谣行为的法律责任。
东方晶源微电子科技有限公司的声明中称，对于近期在网络媒体上出现的大量与东方晶源的不实消息，东方晶源将保留追究法律的权力。

声明中称东方晶源是一家专注于集成电路领域良率管理的企业，成功自主研发了计算光刻软件、纳米级电子束检测装备和关键尺寸量测装备三款核心产品。而且东方晶源尊重、保护知识产权，并形成了独立、完备的知识产权体系。

【阿斯麦尔|东方晶源交付8英寸量测设备！喊话ASML：纯自主研发！】在今年的5月份的时候，上海的积塔半导体公司也采购了33台半导体相关的设备，而且这次采购的33台设备基本全部国产化，上海微电子也成功研发了29nm的光刻机，这都证明了我国光刻机正在研发的路上，而且国产化越来越多，最终会摆脱对于海外的科技和设备的依赖。

写到这里
在国产化的进程中，多少可能会产生一些重复的技术和类似的设备，但是在专利许可方面，有专业的机构进行论证，并不如ASML所说的，还是需要最后的鉴定。
因此，东方晶圆交付8英寸量测设备事宜遭到ASML的职责后正面回复ASML属于自主研发的成果，其声明也将作为如果产生专利纠纷的证据。
我国目前的半导体设备厂商高歌猛进，毫无疑问还会遭受来自世界各国的类似ASML公司的职责，在使用专利和涉及到知识产权问题上，需要和东方晶圆一样，正面回复并且坚持自己的原则。