阿斯麦|ASML工厂探秘：3亿美元一台的EUV光刻机首次亮相( 五 ) 光刻机|极紫外光刻|ASML工厂探

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其中，EUV光源被称为激光等离子体光源，是通过30千瓦功率的二氧化碳激光器每秒2次轰击雾化的锡（Sn）金属液滴（锡金属液滴以每秒50000滴的速度从喷嘴内喷出），将它们蒸发成等离子体，通过高价锡离子能级间的跃迁获得13.5nm波长的EUV光线。

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△EUV激光系统

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△锡金属液滴以每秒50000滴的速度从喷嘴内喷出，通过二氧化碳激光器激光进行轰击，产生EUV光线
由于EUV光线波长非常短，所以它们会很容易被空气吸收，所以整个EUV光源的工作环境需要被抽成真空。
同时，EUV光线也无法被玻璃透镜折射，必须以硅与钼制成的特殊镀膜反射镜，来修正光的前进方向，而且每一次反射仍会损失不少的能量，导致最终到达晶圆的光子只有原来的约5%左右（ASML公布的最新数据）。

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为此，ASML与德国光学公司蔡司（Zeiss）合作，由该公司来生产世界上最平坦的镜面，以使得EUV光线经过多次反射后能够精准的投射到晶圆上。

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△蔡司的反射镜
据ASML EUV工厂工程总监Mike LaBelle介绍，EUV光刻系统当中的蔡司的反射镜的平整度是令人难以置信的。“如果将这个反射镜放大到我们所在国家的大小，那么EUV光线最大的撞击在这个国家大小的镜面上的只有大约一毫米。”

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ASML EUV工厂工程总监Mike LaBelle
台积电也曾表示，“目标必须非常精确，这相当于从月球发射EUV激光，击中地球上的一枚硬币。”
此外，CNBC还参观了位于美国圣地亚哥的ASML生产光源的子公司Cymer的洁净室。

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据ASML制造业务高级经理Pete Mayol介绍，他负责这个生产EUV光源的洁净室已经六年了。下图中的设备上部就是储存“锡”的地方，下方则是喷射“锡滴”的喷嘴。

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“如果任何一种有缺陷的颗粒出现，甚至出现在毛细管的顶端，那就意味着失败。我们将移除并重新开始。”Pete Mayol说到。

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△喷射“锡滴”的喷嘴
四、庞大的供应链体系与共生关系
ASML公布资料显示，一部EUV光刻机的长度超过10米、高度达2层楼的EUV，每台有超过10万个零件，加上3000条线缆、4万个螺栓及2公里长的软管等零组件，最大重量达180吨。