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光刻机是芯片生产过程中必不可少的关键设备之一 , 由于集成了全球多项顶尖的技术 , 零部件也来自多个国家的厂商 , 因此制造难度相当之大 , 目前全球仅有四家能生产 。
原先在光刻机领域领先的日本企业尼康、佳能 , 后来高端光刻技术没跟上 , 如今只能生产中低端 。 我国上海微电子起步较晚 , 封装光刻机还可以 , 芯片制造的还有差距 。
现在 , 荷兰的ASML成了全球光刻机领域的绝对领先者 , 市场份额占到80%左右 , 并且技术最先进 , 还独家生产高端EUV光刻机 , 这让ASML成长很快 , 也备受关注 。
ASML的客户也不少 , 主要是台积电、三星、英特尔、中芯国际等领先的晶圆代工企业 。 在全球缺芯形势下 , 他们纷纷开始扩产或投资新建芯片厂 , 这让光刻机的需求更大 。
这对于ASML来说 , 绝对是较好的发展机会 , 但事实却并非如此 , 也面临不少问题 。
第一 , EUV限制出货 , 又想要限制DUV 。 ASML能够独家生产EUV光刻机 , 就是因为之前加入了美企英特尔牵头成立的EUV技术联盟 , 尼康被排除在外 , 独享了技术 。
但也因为用到了美技术 , 光刻机的关键部件也需要用美企的 , 于是就受美方限制 。 因此 , EUV光刻机不能自由出货 。 大家应该都知道 , 中芯之前订的EUV就不能到货 。
不仅如此 , 美又修改EUV出货规则 , 连在大陆建厂的国外晶圆厂也不能获得EUV 。
大陆是全球最大的芯片市场 , 也是最大的半导体设备市场 , 不能出货EUV , 对于ASML来说是个不小的损失 。 于是 , 就积极推进DUV出货 , 还跟中芯签订了出货续签协议 。
但令ASML没想到的是 , 美方连DUV也给盯上了 。 近日 , 美议员联名上书 , 要求升级对中芯的制裁 , 进一步限制16nm及以下的先进制程工艺以及DUV光刻机的出货 。
一旦实施 , 对ASML的打击就大了 , 大陆的DUV光刻机出货也是它的重要营收来源 。
第二 , 封装技术热推 , 光刻机需求将减少 。 芯片发展到现在 , 再继续向微缩发展 , 成本就不合适了 , 且光刻机也越来越贵 , 制程越先进 , 能够用得起的客户越来越少 。
为此 , 各大晶圆代工厂开始研究先进封装技术 , 台积电推出全球首款3D封装芯片 , 苹果推出了双芯叠加芯片 , 英特尔等十大巨头又建小芯片联盟 , 封装技术热度升高 。
一旦封装技术全面推开 , 就不需要那么多的光刻机 , 这可是ASML不想看到的局面 。
第三 , 想要趁机出货 , 供应链问题又频出 。 鉴于以上两方面 , ASML能做的就是 , 利用现在出货的大好时机 , 实现尽快出货 , 这样能够进一步抢占市场 , 争取更多的机会 。
然而 , 这并不是ASML想出货就能出的 , 光刻机产能也得跟上才行 。 据了解 , ASML生产过程中需要供应商的密切配合 , 仅配件供应商有700多家 , 其中关键的200多家 。
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