而清华大学在去年2月份就突破了可替代EUV光源的SSMB光源技术 , 可以实现波长更小、功率更大的光源 。 近日突破的亚1nm晶体管技术 , 更是可以在实验数据上反哺上游制造设备 , 这些数据反馈就相当于是技术依据 , 将有助于光刻厂商对设备进一步升级完善 。
其次 , 在基础材料方面 。 氖气是光刻机制造不可或缺的稀有气体 , 但ASML最主要的两家乌克兰供应商Ingas和Cryoin均已宣布暂停运营 。 而全球范围内除了乌方的氖气之外 , 目前能保质保量进行供应的也只有中国稀有气体厂商了 。
另外 , 在市场方面 。 我国不仅拥有最大的消费市场 , 而且近几年在光刻技术方面也取得了巨大的进步 , 北京国望光科打造的光学光刻曝光系统研发及批量生产基地项目 , 在前不久已正式进入了研发、设计、批量生产阶段 。
这意味着接下来将会有大批国产光刻机进入市场 , 有了市场体系与核心技术积累 , 国产高端光刻机也有望在三五年内迎来破冰 。 如果ASML始终无法对华自由出货 , 其最终或将会被排除在我国市场之外 。
总体来看 , 不管是光刻巨头ASML或者是代工巨头台积电 , 未来想要有更好的发展 , 国内市场才是最好的选择 , 因为我们有完善的产业体系 , 相应的技术、材料、消费市场等等一样都不缺 。 如果仍盲目、执意地跟随老美的脚步 , 那只能说是自食其果了 。
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