什么是电子气体电子气体有哪些,电子气体是哪些气体?

在通常情况下气体的自由电荷极少,是良好的绝缘体 。但是由于某些原因气体中的分子发生了电离,它便可以导电,这种现象称为气体导电或气体放电 。
除了金属、电解质可以导电外,在一定的条件下气体也可以导电 。在 通常的情况下,气体的分子是中性的,仅有极少量的离子,所以气体是良 好的绝缘体 。但是,气体中如有足够多的电子和离子存在,那么在气体中 也能产生电流,即气体导电 。气体分子转变为离子的过程称为气体的电 离,电离后的气体就成为导体 。

什么是电子气体电子气体有哪些,电子气体是哪些气体?

文章插图
【什么是电子气体电子气体有哪些,电子气体是哪些气体?】电子气体是哪些气体?
气体工业名词,半导体工业用的气体统称电子气体 。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类 。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气 。电子气体是特种气体的一个重要分支 。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级 。
近几年来,智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,电子特种气体的国产化已是大势所趋 。据了解,我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束,高纯氯化氢已成功打开国内市场 。