什么是光刻机,光刻机5nm是什么意思?

【什么是光刻机,光刻机5nm是什么意思?】是一种集合了数学、光学、流体力学、高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、机械、自动化、软件、图像识别领域顶尖技术的产物 。


它的工作原理说起来不复杂,就是用"紫外线"对晶圆进行雕刻,在硅片上雕刻出设计好的电路图 。


现在最先进的EUV光刻机制程是7nm,这相当于一根头发的万分之一 。由于要达到这样的雕刻精度,在雕刻的过程中晶圆需要被快速移动,每次移动10厘米,过程中误差要控制在纳米级别 。

什么是光刻机,光刻机5nm是什么意思?

文章插图
光刻机5nm是什么意思?
光刻机5nm什么意思
光刻机(lithography)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备 。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上 。
5nm是EUV(极紫外线)光刻机能实现的目前最先进芯片制程工艺,也是智能手机厂商争抢的宣传卖点,进入2020年下半年后,苹果A14、麒麟9000、骁龙888等5nm工艺芯片相继粉墨登场 。