光刻机|EUV光刻机“隐疾”突显,ASML不愿看到的情况正在发生( 二 )


ASML , 芯片制造商们该如何应对呢?既然已经找到了隐疾所在 , 那么ASML和芯片制造商们该如何应对呢?难道说一直放任EUV光刻机随机效应的存在 , 而不去解决吗?
作为影响先进芯片制造生产的问题 , ASML和芯片制造商们肯定不会无动于衷 。 虽然随机性不可预测 , 但是却也能找出一些应对之法 。

比如建设模拟运算模型 , 若是能在随机效应体现最明显的步骤环节中建设模拟运算 , 分析出具体的模型走向路线 , 在随机效应发生之前 , 尽量判断出每一种可能出现的随机反应 。 压缩随机反应产生的效果 , 从而供应多种解决方案 。
类似于将乒乓球的掉落位置固定在某个区域内 , 这样在有限的随机反应范围内 , 越能够准确判断出它的落点位置 。
不过EUV光刻机涵盖10万个零部件 , 调动光子撞击光刻胶就需要所有的零部件同时工作 , 不仅反应随机 , 而且步骤环节也是随机的 。

这想要找出具体的随机效应发生位置恐怕难度不小 。 除此之外 , 光学检测以及电子束检测或许也能用上 。 但是否有效就需要ASML , 芯片制造商的具体验证了 。
写在最后专业的事情就交给专业的人做 , ASML , 台积电都是世界第一的行业领域巨头 , 该如何应对就看他们的努力了 。 ASML仍在持续研发更先进的光刻机 , 采用高数值孔径系统 , 台积电也在努力研发出3nm , 2nm工艺芯片的量产 。
站在人类科技进步的角度 , 希望他们能尽早解决问题取得突破 , 让人类芯片工艺更上一层楼 。
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