2月9日消息 , 攸关台积电2nm厂的中部科学园区台中园区扩建二期开发计划 , 于昨(8)日通过环评大会审查 , 预估产值可达新台币5014亿元(约合人民币1130.9亿元) , 将提供4500个就业机会 。 这意味着台积电2nm厂即将启动 。
据悉 , 环保署昨日召开环评大会 , 其中一案为中科二期扩建案 。 中科二期希望引进半导体产业 , 维持中国台湾半导体全球领先地位 , 据悉 , 台积电2nm厂将进驻 , 此案受高度关注 , 历经三次专案小组审查后 , 去年底通过环评初审 , 昨日再于环评大会闯关成功 , 顺利通过环评最后一关 。
根据国科会中科管理局资料 , 中科二期扩建开发面积从原本94.62公顷 , 缩减至89.75公顷 , 但绿地面积“不打折” , 维持原本的12.99公顷 。
【台积电|中科二期扩建环评过关,台积电2nm厂即将开建】用水量方面 , 原本规划为10万CMD(吨/每日) , 随著面积缩减 , 略降至95565 CMD , 并承诺除民生用水外 , 终期100%再生水 , 全区用水回收率84% , 并自设再生水处理设施 , 终期可产制2万CMD再生水 。
用电方面 , 原规划总用电量975MW(百万瓦) , 也调降至925MW , 并承诺进驻半导体厂商每年取得25%再生能源 , 2050年使用100%再生能源 。
对此 , 台积电昨日表示“乐见其成” , 并强调将秉持一贯的承诺的通过气候与能源、水管理、资源循环及空气污染防制等面向 , 以具体作为实践绿色制造 。
据了解 , 台积电2nm厂区分别计划在竹科宝山、中科设厂 。 台积电董事长刘德音去年底在3nm量产典礼上特别指出 , 目前准备中的2nm晶圆厂 , 分别落址新竹与中部科学园区 ,共计六期的工程皆依计划持续进展中 。
台积电总裁魏哲家日前在今年1月法说会上也提及 , 台积电2nm进度比原先预期来得好 , 维持风险试产2024年、量产2025年的规划 , 目前进展良好 。
资料显示 , 台积电去年进入2nm N2制程技术的开发阶段 , 着重于测试载具设计与实作、光罩制作及硅试产等 , 主要进展在于提升基础制程设定、晶体管与导线性能 。 在光刻技术部份 , 台积电研发组织藉由提升晶圆良率达到可靠影像以支持3nm试产 , 并提升极紫外光(EUV)的应用、降低材料缺陷与增进平坦化的能力 , 以支持2nm技术的开发 。
在此前的2022年台积电技术论坛上 , 台积电也首度公布了其下一代先进制程N2(即2nm制程)的部分技术指标:相较于其N3E(3nm的低成本版)工艺 , 在相同功耗下 , 台积电2nm工艺的性能将提升10~15%;而在相同性能下 , 台积电2nm工艺的功耗将降低23~30%;晶体管密度仅提升了10% 。
编辑:芯智讯-林子
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