光刻机|ASML的EUV光刻机不吃香了?先进工艺芯片需求少,成本太高

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由于全球工业化的发展 , 所以各个国家对芯片都非常重视 , 很多芯片厂在不断的进行扩大 , 希望提高产能 , 这对光刻机带来了更大的需求 , 凭借这个机遇 , 让ASML公司快速的发展起来 , 产品销往全球 , 在光刻机领域有着无与伦比的话语权 , 虽然ASML公司掌握了最先进的光刻机技术 , 但是在发展的过程中也遭遇了很多问题 , 前后遭遇过蔡司镜头产量不足 , 氯气供应不足 , 柏林工厂火灾等等 , 而现在ASML公司又遇到了其他的问题 。

众所周知 , 全球现在只有四家企业 , 三个国家能够制造前道光刻机 , 分别是日本的佳能和尼康 , 荷兰的ASML公司 , 还有中国的上海微电子 , 但能够生产EUV光刻机的只有ASML公司这一家 , EUV光刻机被称为极紫外光刻机 , 有着13.5纳米的波长 , 工业复杂之极 , 堪称人类技术之巅 。 如果想要生产7纳米到3纳米工艺的芯片就需要用到它 。 生产2纳米至1纳米工艺的芯片 , 则需要更加先进的EUV光刻机 。 甚至在某种程度上 , ASML公司的光刻机技术能够决定全世界芯片厂的顶尖工艺 , 如果ASML公司的光刻机技术实现突破 , 才能够让全球芯片厂的技术实现突破 。

EUV光刻机的制造技术到底有多复杂呢?到目前为止 , 十年年的时间总共才生产出了140多台 。 ASML公司因此想扩大产能 , 希望等到2025年的时候 , 每年能够生产90台EUV光刻机 , 并且开始研制新一代High-NA EUV 。 但是计划总赶不上变化快 , 芯片行业出现了全球萎缩的形势 , 就连台积电的订单也陆续被砍掉 , 甚至提前将四台EVA光刻机关闭了 , 要知道台积电是ASML公司最大的客户 , 可如今连台积电都对EUV光刻机的需求量减少了 , 这对ASML公司会造成巨大的影响 。

【光刻机|ASML的EUV光刻机不吃香了?先进工艺芯片需求少,成本太高】EUV光刻机主要生产先进制程工艺的芯片 , 但是先进制程工艺芯片的市场并不庞大 , 失败率高 , 成本也高 , 所以很多企业已经不想再生产先进制程芯片了 , 这让EUV光刻机面临到了前所未有的困境 。 先进制程的芯片之所以成本高 , 和EUV光刻机有着很大的关系 , 因为光刻机一台的价格就能达到1.2亿美金 , 而High-NA EUV光刻机更能达到4亿美金左右 。 EVA光刻机不光价格非常高 , 而且这台设备会消耗巨大的电量 。 所以最近ASML公司高层就放出来消息 , High-NA EUV可能是最后一款EUV光刻机了 。

EUV光刻机的孔径达到了0.33 , 而High-NA EUV则为0.55 。 如果继续按照这个方式发展 , 不仅会有很难的技术壁垒 , 而且使用成本太高 , 制程工艺特别复杂 , 恐怕无法让企业接受 。 成本是每个企业都需要面对的问题 , 在此之前 , 芯片行业有个定律 , 那就是每隔两年会进行升级 , 性能会提升一倍左右 , 而价格则会下降一半左右 , 可是现在的发展却不一样了 , 在28纳米工艺之后出现了变化 。 28纳米被认为是芯片成本和性能的最佳体现 。 这一点很多芯片厂都深有体会 , 因为芯片工艺超过28纳米 , 客户就会逐渐减少 , 而且技术难度也会提高 , 所以很多企业已经不想生产工艺更高的芯片了 , 这就让EUV光刻机的处境十分尴尬 。 而现在 , ASML公司也面临一些竞争对手 , 行业霸主的地位有可能遭到动动摇 。