算法|中国最大的光刻机企业被美国封杀飞利浦·斯塔克

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近日，美商务部工业和安全局在公告中称，将36家中国实体纳入“实体清单” ，很多人注意到其中包括存储芯片公司长江存储，但可能没注意到光刻机生产商上海微电子也在其中，此事后果挺严重。

首先，上海微电子对于中国芯片产业来说意义重大，上海微电子目前是中国最先进的光刻机企业，上海微电的600系列，最高工艺能达到180nm ，在这个产品的国内市场上占据很高的市场份额，并且，上海微电子的制程工艺达90nm的6000系列光刻机技术上也很成熟。所以，上海微电子在中国光科技产业中的地位就有点像芯片代工企业中的中芯国际。

其次，客观说，虽然上海微电子在中国光刻机领域领先，但与国际巨头相比，还有很大差距。本来，中国光刻机起步不晚。 1966年，一零九厂和上海光学仪器厂共同合作，成功研制出了国内历史上第一台65型接触式光刻机，研制成功后由上海无线电专用设备厂投入量产。 1985年由电子部45所成功研发并制造出了国内第一台分布式光刻机：BG-101 。此时与国际水平的差距不到7年。

但是， 1996年， 30多个国家签署了”瓦森纳协定“ ，对中国出口的半导体技术和光刻机等设备要求比最先进技术落后两代，而且，当时中国没有太多钱去搞光刻机研发，所以，中国与国外的光刻机技术水平被迅速放大。比如上海微电子的主要光刻机产品最高可以生产90纳米的芯片，与全球最领先的荷兰ASNL公司相比相差五代，技术差距20年左右。

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而美国此次更是落井下石，在上海微电子非常关建的28纳米光刻机商用关建阶段又泼一盆冷水。早在2020年，据媒体报道，上海微电子就披露，将在2021-2022年交付第一台28nm工艺的国产的沉浸式光刻机，但到现在都没出来，让产业界着急。而如今美国正式下令封杀上海微电子，不让上海微电子买到任何美国的技术、设备和原材料。将给国产光刻机的研发进展蒙上阴影。