电子商务|褚君浩院士：仪器设备是智能时代的核心支撑石家庄

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【电子商务|褚君浩院士：仪器设备是智能时代的核心支撑】2022年12月中旬，路透社发布的一则消息引发了中国以至全球半导体界的极大关注。报道说，中国正在为本国的半导体行业制定超过1万亿元人民币的支持计划，用于补贴半导体制造厂或晶圆厂购买半导体设备。报道评价，这是中国朝着芯片自给自足迈出的重要一步，中国以此来对抗美国对华技术限制与打压。
相信这万亿补贴计划并不是空穴来风。补贴设备补贴制造也是希望从产业链的源头上解决问题。一代设备一代技术，一代技术一代设备，这是一个正向发展的路径。每一个产业的发展，基础底层就是材料和设备。
那么，当前，中国半导体设备和材料产业的发展现状如何？从今天起，科闻社将安排一组文章，介绍中国半导体设备和材料领域的科研、产业、技术等方面的情况，以帮助读者进一步了解国产半导体设备领域的成果，以及未来发展的关键点，以及所要克服的痛点等。
今天刊发《智能时代背景下的仪器设备技术》一文，为中国科学院褚君浩院士的公开演讲。褚君浩院士强调：仪器设备是智能时代的核心支撑。
智能时代的产业形态是仪器设备人类发展到今天，从第一次工业革命机械化时代，第二次工业革命电气化时代，第三次工业革命信息化时代，到现在处在信息化时代的后期高端发展时期——智能时代。智能时代的核心是智能化的系统设备，包括三个方面。第一是动态感知，靠传感器；第二是智慧识别，靠大数据靠物理模型；第三个是自动反应，靠控制技术。

智能化时代的技术趋势是智能化，包括智能化分布式新能源系统，能源互联网；智能化复杂体系、人工智能、智慧城市；智能化的制造技术、先进材料、极端制造；智能化的诊断、修复技术、智慧医疗；传统工业的智能化升级。核心是智能化、数字化，它的产业形态，是仪器设备。
仪器设备是智能时代的核心

仪器设备是个核心，我们半导体的芯片和零部件，都需要依赖仪器设备来制造。半导体的芯片、核心元部件都要依赖于仪器设备来制造，所以仪器设备的水平，决定了半导体芯片和核心元部件的水平。同时，由仪器设备生产而来的半导体的芯片和核心部件，又用于仪器设备中，反向决定了仪器设备的水平，决定其在人工智能、物联网方面做出应用。所以，仪器设备是核心。

现在国产很多设备领域有着喜人的进展。不少本土企业产品已经能够用于28nm产线，部分产品，如中微公司的CCP刻蚀机甚至已经进入了台积电最先进的5nm逻辑芯片产线。其它领域也取得了可观的成绩，光刻、蚀刻、量测、等离子注入的设备等设备，在2020年国产化率已经占到7% 。另外，中国的硅片生产设备，晶圆制造设备的能力也在提升。比如，晶盛机电的单晶生长炉、双面研磨机；华海清科的12寸CMP大规模被应用，已经出货上百台，在28纳米以上制程已经使用，同时14纳米制程也在认证中。盛美半导体，自主研发兆声波技术，在单片清洗领域接近国际水平。在晶圆制造设备上，北方华创的刻蚀、薄膜沉积设备、清洗设备都获得大量订单。中微公司12英寸高端刻蚀设备已在逻辑和存储芯片端已被5纳米制程和128层逻辑芯片批量采购。