中企研发出低能离子注入机,难度仅次于光刻机
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我国究竟什么时候能够从老美的芯片封锁之中 , 突出重围呢?对于这个问题 , 谁也不能给出准确的答案 。
但是几乎每个人都认为 , 突出老美的围追堵截 , 重新站上世界科技的顶峰 , 对于我国来说只是时间问题 。
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自从我们和老美的科技战正式拉响之后 , 我国的科技企业就不断攻克难关掌握了许多核心技术 。
前不久芯片领域又传来捷报 , 我国第一台低能离子注入机正式投入生产 。 这使得我国在打通整条供应链的道路上又迈进了一大步 , 而且还是极为关键的一步 。 然而这项技术却被老美以卑鄙方式套取并抄袭 , 这究竟是怎么回事呢?
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什么是低能大束流离子注入机
在芯片制造的过程中 , 向硅晶圆注入离子是一项非常关键的步骤 , 通过注入离子可以在晶圆表面形成一层金属膜 , 而后续集成电路的制造和完善都要建立在这个基础上 。 因此 , 这一工艺的精密程度 , 直接决定了整个芯片的工艺水平 。
离子注入机是芯片制造的最核心的设备之一 , 其制造难度和研发难度都相当复杂 , 可以毫不夸张地说 , 离子注入机无论是在重要性方面 , 还是在制造难度方面 , 只仅次于光刻机 。
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而在离子注入机所有类型当中 , 低能大束流离子注入机更是制造工艺最复杂 , 技术难关最多的一类离子注入机 。
相比于其他类型的离子注入机 , 这种机型性能更高、离子输出更稳定、对晶圆的损伤更小 , 因此目前低能大束流离子注入机已经成为许多高端芯片制造厂商的首选 。
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打破技术壁垒 , 跻身世界前列
在过去的很长一段时间内 , 我国芯片企业使用的离子注入机都来源于从国外进口 。
不仅如此 , 许多国内企业还买不到最先进的机型 , 只能使用较为落后的机型 , 甚至是国外已经淘汰的 , 好几代以前的机型 , 这种情况十分不利与我国企业的发展 。
而就在上个月国内一家名叫凯世通的公司成功突破了技术壁垒 , 成功研制出了国内的第一台低能大束流离子注入机 。 这意味着我们成功攻克了芯片制造领域的又一个难题 , 离技术自主又成功迈进了了大步 。
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而且这台低能大束流注入机已经将技术提升到了7nm , 这意味着这台离子注入机完全能够满足目前国内手机芯片所需要的工艺 。
目前这台机器已经顺利通过了多次测试 , 并且正式投入了生产阶段 。 这是国内芯片技术领域的又一个里程碑式的成就 。
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老美以卑鄙的手段套取技术并抄袭
在老美得知我国实现了技术突破之后大为震惊 , 毕竟离子注入机从研发到制造要攻克的难题实在太多了 , 我国凭借一己之力能突破这项技术简直是一个奇迹 。
在进行了性能对比之后 , 老美发现我国所制造的离子注入机甚至在许多方面已经超越了美国 , 这下老美便开始动起了歪脑筋 。
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